[發明專利]拋光墊、拋光裝置、以及使用拋光墊的工藝

有效

• 申請號: 200780008662.1
• 申請日: 2007-02-20
• 公開（公告）號: CN101400479A
• 公開（公告）日: 2009-04-01
• 發明（設計）人: B·E·伯特瑪;S·F·阿布拉哈姆;A·P·帕瑪塔特
• 申請（專利權）人: 飛思卡爾半導體公司
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 郭 放

1.一種拋光墊，包括：

第一層，包括：

第一拋光表面；

與第一拋光表面相對的第一對置表面；和

延伸穿過第一層的第一開口；

第二層，包括：

附著表面；

與附著表面相對的第二對置表面，該第二對置表面離第一層的第一對置表面比離第一層的第一拋光表面更近；

延伸穿過第二層的第二開口，該第二開口與第一層的第一開口連續；

以及位于第一開口中的墊窗口，包括：

與第一拋光表面連續的第二拋光表面；以及

與第二拋光表面相對的第三對置表面，其中第三對置表面位于第一層的第一拋光表面與第二層的附著表面之間的區域，

墊窗口包含透氣材料。

2.根據權利要求1的拋光墊，其中，

墊窗口包含能夠容許預定波長或者光譜的輻射光透射的成分。

3.根據權利要求1的拋光墊，其中，

第一層和墊窗口都包含聚氨酯、聚乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯、或者它們的任意組合。

4.根據權利要求1的拋光墊，其中，

第一層的第一對置表面與第二層的第二對置表面相鄰接。

5.根據權利要求1的拋光墊，其中，

第一開口的第一周長具有與第二開口的第二周長不同的長度。

6.根據權利要求1的拋光墊，其中，

第一層的第一拋光表面和墊窗口的第二拋光表面沿拋光平面放置；

從墊窗口的第三對置表面到拋光平面的第一標高小于從附著表面至拋光平面的第二標高。

7.根據權利要求6的拋光墊，其中，

第一標高小于從第一層的第一對置表面到拋光平面的第三標高。

8.一種拋光裝置，包括：

具有第一附著表面的臺板；和

拋光墊，包括：

位于臺板上方并與臺板間隔開的第一層，其中第一層包括：

第一拋光表面；

與第一拋光表面相對的第一對置表面；和

延伸穿過第一層的第一開口；

位于第一層和臺板之間的第二層，其中第二層包括：

與臺板的第一附著表面相鄰接的第二附著表面；

與第二附著表面相對的第二對置表面，該第二對置表面離第一層的第一對置表面比離第一層的第一拋光表面更近；和

延伸穿過第二層的第二開口，該第二開口與第一層的第一開口連續；和

位于第一層的第一開口中的墊窗口，包括：

與第一層的第一拋光表面連續的第二拋光表面；和

與第二拋光表面相對的第三對置表面，

墊窗口包含透氣材料。

9.根據權利要求8的拋光裝置，其中，

臺板還包括臺板窗口；

墊窗口位于臺板窗口上方；

所述拋光裝置還包括輻射源，該輻射源被配置為引導預定波長或者光譜的輻射光穿過墊窗口的第二拋光表面。

10.根據權利要求9的拋光裝置，其中，

臺板窗口和墊窗口的每個能夠容許預定波長或者光譜的輻射光透射。

11.根據權利要求8的拋光裝置，其中，

在墊窗口的第三對置表面與臺板之間具有間隔區域。

12.根據權利要求11的拋光裝置，其中，

間隔區域包含空氣、氬氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、或者它們的任意組合。

13.根據權利要求8的拋光裝置，其中，

第一層的第一對置表面與第二層的第二對置表面緊鄰。

14.根據權利要求8的拋光裝置，其中，

第一層的第一拋光表面與墊窗口的第二拋光表面位于同一平面。

15.根據權利要求14的拋光裝置，其中，

第三對置表面離上述同一平面比離沿第二層的第二附著表面的平面更遠。

16.根據權利要求8的拋光裝置，其中，

墊窗口的成分包括聚氨酯、聚乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯、或者它們的任意組合。