[發明專利]磁盤用玻璃襯底的制造方法以及磁盤的制造方法

有效

• 申請號: 200780001226.1
• 申請日: 2007-03-15
• 公開（公告）號: CN101356134A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 巖田勝行
• 申請（專利權）人: HOYA株式會社
• 主分類號: C03C21/00
• 分類號: C03C21/00;G11B5/84
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 岳耀鋒

技術領域

本發明涉及構成作為磁盤裝置的硬盤驅動器(HDD)等中使用 的磁盤的磁盤用玻璃襯底的制造方法以及使用了該磁盤用玻璃襯底 的磁盤的制造方法。

背景技術

如今，信息記錄技術尤其是磁記錄技術伴隨所謂的IT產業的發 達而要求飛躍性的技術革新。而且，在作為計算機用存儲器等而使用 的磁盤裝置即硬盤驅動器(HDD)上所搭載的磁盤與磁帶或軟盤等其 他磁記錄介質不同，其信息記錄密度的迅速增大化繼續進行。

這種磁盤是在鋁系合金襯底或玻璃襯底等的襯底上形成磁性層 的膜等而構成。然后，在硬盤驅動器中，一邊使磁頭在高速旋轉的磁 盤上浮動飛行，一邊通過該磁頭將信息信號作為磁化圖案記錄在磁性 層上，再進行再生。

近些年，在這種磁盤中，信息記錄密度已達到超過每1平方英寸 40G比特，進而，超過每1平方英寸100G比特的超高記錄密度也將 要被實現。能夠實現這樣高的信息記錄密度的近些年的磁盤與以往的 軟盤等磁盤相比較，具有雖然是很小的磁盤面積卻能夠收納實用上足 夠的信息量的特征。

另外，這種磁盤與其他的信息記錄介質相比較，還具有信息的記 錄速度及再生速度(應答速度)極其迅速且可以進行信息的隨時寫入 以及讀出的特征。

這種磁盤的種種特征已經得到關注，其結果是，在近些年要求能 夠搭載在如所謂的移動電話、數碼相機、便攜信息設備(例如、PDA (personal?digital?assistant)：個人數字助理)或者汽車導航系統等 那樣的、殼體遠遠小于個人計算機裝置且要求高應答速度的便攜用設 備上的小型硬盤驅動器。

伴隨著針對將硬盤驅動器搭載在便攜用設備上(所謂“便攜式用 途”)的要求高漲，作為磁盤用的襯底采用由硬質材料即玻璃構成的 玻璃襯底。這是因為玻璃襯底與由軟質材料即金屬構成的襯底相比 較，具有高強度和高剛性。

另外，因為在玻璃襯底中可獲得平滑的表面，所以可以防止磁頭 碰撞以及熱不均勻(thermal?asperity)這樣的問題，同時還可以使一 邊在磁盤上浮動飛行一邊進行記錄再生的磁頭的浮起量變得狹小(降 低飛行高度)，能夠得到高信息記錄密度的磁盤。

但是，玻璃襯底還具有作為脆性材料的負面特性。因此，歷來就 提出了各種各樣的玻璃襯底的增強方法。例如，在專利文獻1中記載 有以下的化學增強處理：通過將玻璃襯底以規定時間浸漬于在化學增 強槽中的加熱到300℃左右的硝酸鈉(NaNO₃)或硝酸鉀(KNO₃)等 的硝酸鹽熔液中，將玻璃襯底中的表層部的鋰離子(Li⁺)置換成鈉離 子(Na⁺)或鉀離子(K⁺)，或者，將玻璃襯底中的表層部的鈉離子 (Na⁺)置換成鉀離子(K⁺)，在兩面的表層部形成壓縮應力層，并 在這些壓縮應力層之間設置拉伸應力層。

另外，在專利文獻2中記載有以下的方法：在化學增強處理中使 用的硝酸鹽熔液中混入微量的陽離子雜質，進行調整以使硝酸鹽的完 全凝固點小于等于130℃，在化學增強處理后的冷卻時使硝酸鹽具有 流動性，抑制玻璃襯底的翹曲同時進行化學增強處理。

專利文獻1：日本專利公開特開2002-121051公報

專利文獻2：日本專利公開特開2001-192239公報

發明內容

(發明要解決的問題)

然而，已知在上述的化學增強工序中無法充分抑制在化學增強工 序后產生的玻璃襯底上的微小波紋的情況。另外，已知這種微小波紋 在化學增強工序后的玻璃襯底的冷卻時產生。

而且，近年來伴隨著磁盤中的信息記錄的高密度化，不斷降低磁 頭的飛行高度，要求具有比以往更加平滑的表面的玻璃襯底，這種微 小波紋就成為問題。

因此，本發明就是鑒于上述那樣的情況而完成的，其目的在于提 供一種磁盤用玻璃襯底的制造方法，該方法具有使玻璃襯底接觸加熱 了的化學增強鹽熔液并對玻璃襯底的表層進行化學增強的化學增強 工序，該方法能夠制造這樣的磁盤用玻璃襯底，它可以抑制在化學增 強工序后的玻璃襯底冷卻時產生的微小波紋，并防止磁頭碰撞以及熱 不均勻這樣的問題，同時還可謀求磁頭的低飛行高度化，并可實現高 密度信息記錄，特別是能夠構成適合用于便攜信息設備用的小型硬盤 驅動器的磁盤。