[發明專利]磁盤用玻璃襯底的制造方法以及磁盤的制造方法

有效

• 申請號: 200780001226.1
• 申請日: 2007-03-15
• 公開（公告）號: CN101356134A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 巖田勝行
• 申請（專利權）人: HOYA株式會社
• 主分類號: C03C21/00
• 分類號: C03C21/00;G11B5/84
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 岳耀鋒

1.一種磁盤用玻璃襯底的制造方法，包含使玻璃襯底與加熱了 的化學增強鹽熔液接觸并在所希望的溫度下對玻璃襯底的表層進行 化學增強的化學增強工序、和對經過該化學增強工序的玻璃襯底進行 冷卻的冷卻工序，其特征在于：

在上述冷卻工序中，使上述玻璃襯底的溫度下降至室溫而不使附 著于上述玻璃襯底的表面上的上述化學增強鹽熔液中的化學增強鹽 固化，由此在上述玻璃襯底的表面不發生微小波紋地冷卻上述玻璃襯 底，其中，

上述冷卻工序包括使上述玻璃襯底與熔解有固化溫度低于上述 化學增強鹽的物質的處理液接觸的冷卻處理，

上述處理液的溫度被調整得低于上述化學增強工序中的化學增 強鹽熔液的溫度，

所述磁盤用玻璃襯底是與浮起量小于等于6nm的磁頭相對應的 磁盤用玻璃襯底。

2.如權利要求1所述的磁盤用玻璃襯底的制造方法，其特征在 于：

使經過上述化學增強工序的玻璃襯底的溫度分階段地下降。

3.一種磁盤用玻璃襯底的制造方法，包含使玻璃襯底與加熱了的 化學增強鹽熔液接觸并在所希望的溫度下對玻璃襯底的表層進行化 學增強的化學增強工序、和對經過該化學增強工序的玻璃襯底進行冷 卻的冷卻工序，其特征在于：

在上述冷卻工序中，進行如下的冷卻處理，即，在殘留于上述玻 璃襯底上的上述化學增強鹽熔液的結晶化開始之前，使上述玻璃襯底 與熔解有固化溫度低于上述化學增強鹽的物質的處理液接觸，

上述處理液的溫度被調整為低于上述化學增強工序中的化學增 強鹽熔液的溫度，

其中，不使殘留于上述玻璃襯底上的化學增強鹽熔液固化地使上 述化學增強鹽熔液向上述處理液中擴散，由此在上述玻璃襯底的表面 不發生微小波紋地冷卻上述玻璃襯底，

其中，所述磁盤用玻璃襯底是與浮起量小于等于6nm的磁頭相對 應的磁盤用玻璃襯底。

4.權利要求3所述的磁盤用玻璃襯底的制造方法，其特征在于：

上述冷卻處理包括：使上述玻璃襯底與第1處理液接觸的第1 冷卻處理、和在該第1冷卻處理之后使上述玻璃襯底依次與至少一個 第2以后的處理液接觸的第2以后的冷卻處理，

上述第1冷卻處理中使用的第1處理液被調整成低于上述化學增 強工序中的化學增強鹽熔液的溫度且高于上述化學增強鹽的固化溫 度的溫度，

上述第2以后的冷卻處理中使用的第2以后的處理液被調整成低 于在該冷卻處理的前一個冷卻處理中使用的前級處理液的溫度且高 于該前級處理液的固化溫度的溫度。

5.權利要求3所述的磁盤用玻璃襯底的制造方法，其特征在于：

上述處理液是以硝酸鹽為主要物質的熔液。

6.權利要求5所述的磁盤用玻璃襯底的制造方法，其特征在于：

上述處理液通過以規定的比例包含從堿金屬硝酸鹽以及堿土類 金屬硝酸鹽中選擇的多種硝酸鹽而被調整成所希望的固化溫度。

7.權利要求3所述的磁盤用玻璃襯底的制造方法，其特征在于：

使經過上述化學增強工序的玻璃襯底的溫度分階段地下降。

8.一種磁盤用玻璃襯底的制造方法，包含將玻璃襯底浸漬于被 容納在化學增強處理槽中且加熱了的化學增強鹽熔液中并在所希望 的溫度下對玻璃襯底的表層進行化學增強的化學增強工序、和將經過 該化學增強工序的玻璃襯底浸漬于玻璃襯底保持槽中所容納的處理 液中并保持該玻璃襯底的玻璃襯底保持工序，其特征在于：

上述玻璃襯底保持槽中所容納的處理液熔解有固化溫度低于上 述化學增強鹽的物質，且被調整為低于上述化學增強工序中的化學增 強鹽熔液的溫度，

在上述玻璃襯底保持工序中，在殘留于上述玻璃襯底上的上述化 學增強鹽熔液的結晶化開始之前，將上述玻璃襯底浸漬到上述處理液 中，并且不使殘留于上述玻璃襯底上的化學增強鹽熔液固化地使上述 化學增強鹽熔液向上述處理液中擴散，以使在上述玻璃襯底的表面不 發生微小波紋，

其中，所述磁盤用玻璃襯底是與浮起量小于等于6nm的磁頭相 對應的磁盤用玻璃襯底。