[實用新型]用以存放半導體組件或光罩的存放裝置及其過濾裝置

有效

• 申請號: 200720311769.0
• 申請日: 2007-12-24
• 公開（公告）號: CN201163616Y
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發明（設計）人: 王勝弘
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677;B01D46/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1.一種過濾裝置，其特征在于，包含有：

一第一部分，具有一通孔與一卡制機構；

一第二部分，具有一通孔與該第一部分的通孔對齊，及一嚙合機構與該第一部分的卡制機構相結合；

一過濾件，置于該第一部分或第二部分上，覆蓋該通孔；以及

一固定件，用以固定該過濾件。

2.權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該固定件卡設于或包覆該第一部分或第二部分。

3.權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該固定件覆蓋或框住該過濾件。

4.權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該固定件具有至少一孔隙。

5.權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該卡制機構為至少一卡勾。

6.如權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，該嚙合部分為一槽體或環狀槽體與該卡勾結合，使第一部分與第二部分卡固。

7.如權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，該卡勾為至少一對或環狀。

8.如權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，該卡勾是卡固于該第二部分面對該通孔的內圍或卡固于該第二部分的外圍。

9.權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該第一部分另包含有一支撐部。

10.權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，該第二部分另包含有一支撐部。

11.如權利要求9所述的過濾裝置，其特征在于，該第一部分的支撐部為環狀突緣、至少一突腳或至少一勾角。

12.如權利要求10的過濾裝置，其特征在于，該第二部分的支撐部為環狀突緣、至少一突腳或至少一勾角。

13.一種存放裝置，用以存放半導體組件或光罩，其特征在于包含有：

一第一蓋體；

一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內部空間可容納半導體組件或光罩，其中該第二蓋體具有至少一孔；以及

一過濾裝置，設置于該第二蓋體，與該第二蓋體的孔結合，該過濾裝置包含有：一第一部分，具有一通孔與一卡制機構；

一第二部分，具有一通孔與該第一部分的通孔對齊，及一嚙合機構與該第一部分的卡制機構相結合；

一過濾件，置于該第一部分或第二部分上，覆蓋該通孔；以及

一固定件，用以固定該過濾件。

14.如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該固定件為一板件，覆蓋于該第二蓋體面對該內部空間的表面上。

15.如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第一部分另包含有一支撐部，用以使該第一部分可卡設于該第二蓋體。

16.如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第二部分另包含有一支撐部，用以使該第二部分可卡設于該第二蓋體。

17.如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第一部分另包含有一支撐部，其支撐部的直徑大于該第二蓋體的孔的直徑。

18.如權利要求13所述的存放裝置，其特征在于，該過濾裝置的第二部分另包含有一支撐部，其支撐部的直徑大于該第二蓋體的孔的直徑。

19.一種存放裝置，用以存放半導體組件或光罩，其特征在于包含有：

一第一蓋體；

一第二蓋體，用以與該第一蓋體組合，形成一內部空間可容納半導體組件或光罩，其中該第二蓋體包含有：

一本體，具有至少一孔；以及

一板件，設于該本體上面對該內部空間，具有一孔對應于該本體的孔；

一過濾件，設于該板件上，覆蓋該板件的孔；以及

一固定件，用以固定該過濾件于該板件上。

20.如權利要求19所述的存放裝置，其特征在于，該板件是延伸至該本體的孔。

21.如權利要求19所述的存放裝置，其特征在于，該固定件卡設于或包覆該板件。