[實(shí)用新型]上下片機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720304905.3
• 申請(qǐng)日: 2007-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN201115957Y
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐小飛;胡泓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市矽電半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B25J3/00
• 分類號(hào): B25J3/00;B25J19/00;B65G49/07
• 代理公司: 北京英特普羅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李敏

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)測(cè)試裝置，特別是一種晶圓片的機(jī)械傳送機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓片的機(jī)械傳送機(jī)構(gòu)是全自動(dòng)探針臺(tái)的一個(gè)重要組成部分，主要功能是實(shí)現(xiàn)晶圓片在堆放裝置與測(cè)試裝置之間自動(dòng)快速、穩(wěn)定可靠的傳輸。

目前，國內(nèi)大部分測(cè)試廠家使用的都是手動(dòng)上下晶圓片的探針臺(tái)，這種手動(dòng)上下晶圓片的探針臺(tái)有以下三大不足之處：(1)由于每完成一片晶圓測(cè)試，設(shè)備都要中斷，然后人工卸片(下片)、裝片，這樣既影響測(cè)試效率，又耗費(fèi)大量人工；(2)在手動(dòng)裝片、卸片過程中，晶圓片容易被污染；(3)隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，8英寸、12英寸晶圓片越來越多，手動(dòng)上下晶圓片的探針臺(tái)已經(jīng)不能滿足使用要求。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種全自動(dòng)的晶圓片傳送機(jī)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)晶圓片自動(dòng)快速、穩(wěn)定可靠的傳輸。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的自動(dòng)上下片機(jī)構(gòu)，包括送片機(jī)構(gòu)、預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)和機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)；送片機(jī)構(gòu)包括堆放裝置和連接在其下方的使其升降的升降組件；預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)包括預(yù)對(duì)位臺(tái)和連接在其下方控制其上下運(yùn)動(dòng)的預(yù)對(duì)位裝置；

機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)包括上機(jī)械臂、下機(jī)械臂和機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)裝置，機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)裝置使上機(jī)械臂和下機(jī)械臂來回水平直線運(yùn)動(dòng)；

上機(jī)械臂與下機(jī)械臂縱向并列布置；

上機(jī)械臂和下機(jī)械臂的中軸線位于同一垂直平面內(nèi)；

機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)與一轉(zhuǎn)動(dòng)裝置相連，轉(zhuǎn)動(dòng)裝置可使機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)水平轉(zhuǎn)動(dòng)。

所述上機(jī)械臂借助一懸臂支架置于下機(jī)械臂正上方。

所述堆放裝置位于上機(jī)械臂和下機(jī)械臂的水平直線運(yùn)動(dòng)軌跡上。

所述預(yù)對(duì)位臺(tái)的中心位于上機(jī)械臂和下機(jī)械臂的中軸線所在的垂直平面內(nèi)。

所述預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)還包括一位于預(yù)對(duì)位臺(tái)側(cè)上方的傳感器。

工作時(shí)，機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)從送片機(jī)構(gòu)的堆放裝置中取出待測(cè)的晶圓片，放在預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)上進(jìn)行預(yù)對(duì)位，然后將待測(cè)的晶圓片送到測(cè)試裝置的承片臺(tái)上進(jìn)行測(cè)試，最后將測(cè)試好的晶圓片送回堆放裝置中。由于設(shè)計(jì)了兩個(gè)機(jī)械臂，在測(cè)試裝置的承片臺(tái)上進(jìn)行晶圓片上下片時(shí)，下機(jī)械臂先把測(cè)試裝置上測(cè)試好的晶圓片取下，隨后上機(jī)械臂把早已預(yù)對(duì)位好的晶圓片立刻送上，這樣就使得整個(gè)上下片過程變得快速、流暢，從而節(jié)省了換片時(shí)間，提高了整機(jī)的測(cè)試效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型所述自動(dòng)上下片機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型所述送片機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型所述升降組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4為本實(shí)用新型機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)的主視圖。

圖5為圖4中上、下機(jī)械臂組件的連接結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為本實(shí)用新型預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)的連接結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

參照?qǐng)D1至圖6，本實(shí)用新型包括：送片機(jī)構(gòu)1、預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)2和機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)3。

送片機(jī)構(gòu)1包括堆放裝置11、升降組件12和固定安裝在堆放裝置上的花籃13，晶圓片放于花籃13內(nèi)，升降組件12位于堆放裝置11的下方，可以使堆放裝置11上下移動(dòng)；預(yù)對(duì)位機(jī)構(gòu)2和機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)3位于旋轉(zhuǎn)座4上，旋轉(zhuǎn)座4下方設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5，轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5可帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)座4在0°和90°位置上來回旋轉(zhuǎn)(以圖1所示的位置定義為0°位置)。

如圖2和圖3所示，堆放裝置11通過與導(dǎo)向軸固定上塊121的連接固定在升降組件12的上端。而升降組件12是由滾珠絲杠副122、絲杠螺母座123、導(dǎo)向軸124、絲杠固定端125、大步進(jìn)電機(jī)127、導(dǎo)向軸固定上塊121和導(dǎo)向軸固定下塊126及標(biāo)準(zhǔn)件組成。滾珠絲杠副122及導(dǎo)向軸124的兩端分別固定在導(dǎo)向軸固定上塊121、導(dǎo)向軸固定下塊126上。這樣大步進(jìn)電機(jī)127通過聯(lián)軸器來驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠副122(絲杠螺母已鎖定不動(dòng))，三根導(dǎo)向軸124起導(dǎo)向作用，從而使得固定在堆放裝置11上的花籃13可以在滾珠絲杠副122有效的行程范圍內(nèi)升、降到任意位置。

如圖4和圖5所示，機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)3的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)是由轉(zhuǎn)動(dòng)裝置5來完成的。主動(dòng)輪-小齒輪52安裝在步進(jìn)電機(jī)51的軸上，從動(dòng)輪-大齒輪53固定在旋轉(zhuǎn)軸(圖中未示出)上，旋轉(zhuǎn)座4鎖定在大齒輪53上端，從而通過步進(jìn)電機(jī)51帶動(dòng)大齒輪53旋轉(zhuǎn)，就可以完成機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)3在0°和90°位置上來回的自由旋轉(zhuǎn)，在0°時(shí)機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)3正對(duì)花籃13，在90°時(shí)機(jī)械臂組件機(jī)構(gòu)3正對(duì)測(cè)試裝置(圖中未示出)。