[實用新型]具機械閥的清潔設備

無效

• 申請號: 200720183599.2
• 申請日: 2007-10-26
• 公開（公告）號: CN201091870Y
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 陳祈雅
• 申請（專利權）人: 澔睿股份有限公司
• 主分類號: B08B5/00
• 分類號: B08B5/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 楊俊波

技術領域

本實用新型涉及一種清潔設備，尤其涉及一種具機械閥的清潔設備。

背景技術

傳統的晶片清潔設備，為了達成自動化控制的目的，通常是利用電磁閥來控制清潔氣體是否進入至晶片盒的腔室中。舉例而言，在前開式晶片盒(Front?Opening?Unified?Pod簡稱FOUP)中，必須利用電磁閥來控制從管線提供的清潔氣體是否能進入FOUP中。為了達成大量生產的目標，眾多電磁閥的配置，必須搭配眾多的導線、眾多的傳感器及復雜的控制系統。在控制流程中，必須利用傳感器來確認晶片盒是否已經被正確放置，然后再輸出電信號來控制電磁閥開啟。因此，整個清潔設備的建構及維修都必須花費相當高的成本，不利于成本的降低。

實用新型內容

因此，本實用新型的一個目的是提供一種具機械閥的清潔設備，并簡化配置及降低成本。

為達上述目的，本實用新型提供一種具機械閥的清潔設備，其包含一清潔裝置及一晶片盒。清潔裝置包含一支撐平臺、一第一管線及一第一機械閥。第一機械閥裝設于支撐平臺上，第一機械閥連接至第一管線。晶片盒包含一底部、一腔室及一第一連接部。第一連接部設置于底部，第一連接部連接至第一機械閥以開啟第一機械閥，使第一管線中的一清潔媒介通過第一機械閥注入至腔室中。

根據上述方案，本實用新型的效果是顯著的：本實用新型利用將晶片盒置放在清潔裝置上的動作，達成閥門的開啟的動作。相較于現有技術而言，利用機械閥的設計，可以簡化線路的配置復雜度及降低成本。

附圖說明

圖1為依據本實用新型第一實施例的具機械閥的清潔設備的分解示意圖。

圖2為依據本實用新型第一實施例的具機械閥的清潔設備的組合示意圖。

圖3為依據本實用新型第二實施例的具機械閥的清潔設備的分解示意圖。

主要元件符號說明

10：清潔裝置

11：支撐平臺

12：第一管線

13：第一機械閥

14：第二管線

15：第二機械閥

20：晶片盒

21：底部

22：腔室

23：第一連接部

24：清潔媒介

25：第二連接部

30：晶片

231：第一凸塊

251：第二凸塊

具體實施方式

為讓本實用新型的上述內容能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細說明如下。

圖1為依據本實用新型第一實施例的具機械閥的清潔設備的分解示意圖。圖2為依據本實用新型第一實施例的具機械閥的清潔設備的組合示意圖。如圖1與2所示，本實施例的具機械閥的清潔設備包含一清潔裝置10及一晶片盒20。

清潔裝置10包含一支撐平臺11、一第一管線12及一第一機械閥13。第一機械閥13裝設于支撐平臺11上，第一機械閥13連接至第一管線12。

晶片盒20包含一底部21、一腔室22及一第一連接部23。第一連接部23設置于底部21。第一連接部23連接至第一機械閥13以開啟第一機械閥13，使第一管線12中的一清潔媒介24通過第一機械閥13注入至腔室22中。

清潔裝置10可以更包含一第二管線14及一第二機械閥15，第二機械閥15裝設于支撐平臺11上，并連接至第二管線14。晶片盒20可以更包含一第二連接部25，第二連接部25設置于底部21，第二連接部25連接至第二機械閥15以開啟第二機械閥15，使腔室22中的清潔媒介24通過第二機械閥15從第二管線14排出。

第一連接部23設有一第一凸塊231，第一凸塊231按壓第一機械閥13以開啟第一機械閥13。第二連接部25設有一第二凸塊251，第二凸塊251按壓第二機械閥15以開啟第二機械閥15。