[實用新型]具機械閥的清潔設備無效
| 申請號: | 200720183599.2 | 申請日: | 2007-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN201091870Y | 公開(公告)日: | 2008-07-30 |
| 發明(設計)人: | 陳祈雅 | 申請(專利權)人: | 澔睿股份有限公司 |
| 主分類號: | B08B5/00 | 分類號: | B08B5/00 |
| 代理公司: | 北京三友知識產權代理有限公司 | 代理人: | 楊俊波 |
| 地址: | 臺灣省*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 機械 清潔 設備 | ||
1.一種具機械閥的清潔設備,其特征在于,包含:
一清潔裝置,其包含一支撐平臺、一第一管線及一第一機械閥,所述第一機械閥裝設于所述支撐平臺上,所述第一機械閥連接至所述第一管線;及
一晶片盒,其包含一底部、一腔室及一第一連接部,所述第一連接部設置于所述底部,所述第一連接部連接至所述第一機械閥以開啟所述第一機械閥,使所述第一管線中的一清潔媒介通過所述第一機械閥注入至所述腔室中。
2.如權利要求1所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,所述第一連接部設有一第一凸塊,所述第一凸塊按壓所述第一機械閥以開啟所述第一機械閥。
3.如權利要求1所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,所述清潔媒介為空氣或氮氣。
4.如權利要求1所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,所述晶片盒中容置有多個晶片。
5.如權利要求1所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,
所述清潔裝置更包含一第二管線及一第二機械閥,所述第二機械閥裝設于所述支撐平臺上,并連接至所述第二管線;且
所述晶片盒更包含一第二連接部,所述第二連接部設置于所述底部,所述第二連接部連接至所述第二機械閥以開啟所述第二機械閥,使所述腔室中的所述清潔媒介通過所述第二機械閥從所述第二管線排出。
6.如權利要求5所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,所述第二連接部設有一第二凸塊,所述第二凸塊按壓所述第二機械閥以開啟所述第二機械閥。
7.如權利要求5所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,所述清潔媒介為空氣或氮氣。
8.如權利要求5所述的具機械閥的清潔設備,其特征在于,所述晶片盒中容置有多個晶片。
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