[實用新型]氣閥裝置

無效

• 申請號: 200720176882.2
• 申請日: 2007-09-27
• 公開（公告）號: CN201149119Y
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 黃世舟;林慶東
• 申請（專利權）人: 貫旭企業有限公司
• 主分類號: F16K31/04
• 分類號: F16K31/04;F16K31/53
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司
• 代理人: 張若華

技術領域

本實用新型涉及一種氣閥裝置，主要為配置于半導體蝕刻薄膜制程的設備，用以控制反應室內蝕刻氣體的流量。

背景技術

半導體的蝕刻薄膜技術有許多種，例如濕蝕刻、干蝕刻、電漿蝕刻、化學氣相沉積(CVD，Chemical?Vapor?Deposition)、物理氣相沉積(PVD，PhysicalVapor?Deposition)、氣體蝕刻等方式。氣體對半導體的蝕刻薄膜反應過程中，當氣體導入反應室前必須經由氣閥裝置控制流量，若該氣閥裝置受感知后反應驅動運轉的速度不及，則容易造成蝕刻薄膜反應氣體(例如氟化氫等氣體)外泄導致接口設備腐蝕等危害，或者造成反應室內氣體不均等現象。

公知運轉氣閥裝置的驅動模組如圖1所示，該驅動模組1包括馬達10透過皮帶11橫向帶動減速機構12及聯軸器13，透過聯軸器13的末端驅使所連結的閥體14的閥門15運轉啟閉；由于這種皮帶11傳動方式易造成壽命短、精度差、磨耗大、更換不易與調整難度高等問題，而導致制程的瑕疵及設備成本的增加，必須加以改善。

再者，由于皮帶傳動的行程長，致反應時間較長，更易形成如前述蝕刻反應氣體外泄導致接口設備腐蝕等危害，或者造成反應室內氣體不均等現象。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的是提供一種耐用、反應快且使用安全的氣閥裝置。

為實現上述目的，本實用新型主要包括閥體及驅動模組，該驅動模組連接于閥體的底端用以驅動閥體運行。所述驅動模組依序包括馬達，行星式齒輪減速機及聯軸器，以軸向直結方式串聯，該聯軸器末端連結有閥體。

本實用新型的氣閥裝置，改善以上先前技術在應用上所產生的缺失，以行星式齒輪減速機取代傳統的皮帶傳動方式，并與馬達及聯軸器間以軸向直結方式連動，其不僅可以改善皮帶傳動所形成的弊端，更可以加速閥體的反應時間，以解決蝕刻反應氣體外泄，或者反應室內氣體不均等問題。

至于本實用新型的詳細內容及其它技術特征，則請參考以下所舉的實施方式及相關附圖所述。

附圖說明

圖1為公知氣閥裝置的結構示意圖；

圖2為本實用新型的氣閥裝置所屬驅動模組的結構示意圖；

圖3為本實用新型的驅動模組所屬行星式齒輪減速機主要結構示意圖；

圖4為本實用新型的行星式齒輪減速機連結馬達的輸入端結構示意圖。

附圖標記說明

驅動模組1???????????????????馬達10

皮帶11??????????????????????減速機構12

聯軸器13????????????????????閥體14

閥門15

驅動模組2???????????????????馬達20

行星齒輪減速機21????????????聯軸器22

固定板23????????????????????轉軸24

第一載板25??????????????????第一直立式支架26

散熱片27????????????????????第二直立式支架28

第二載板29??????????????????馬達軸心201

太陽齒輪210?????????????????行星齒輪211

內齒輪212???????????????????減速機軸心213

行星式齒輪減速機與馬達連結的輸入端214

感應器3

筒夾4?????????????????壁面40

長條孔41

螺栓5

具體實施方式

如圖2所示，本實用新型的氣閥裝置，主要是配置于半導體蝕刻薄膜制程的設備，用以控制反應室內蝕刻氣體的流量。

所述裝置包括閥體(該閥體的型式請參考圖1所示，與該公知閥體相同故未再予揭露)及驅動模組2，所述驅動模組2連接于閥體用以控制并驅動閥體的啟閉。

所述驅動模組2依序包括馬達20，行星式齒輪減速機21及聯軸器22，以軸向直結方式串聯運轉并控制聯軸器22末端連結的閥體產生啟閉動作。

所述行星式齒輪減速機21被定位在固定板23上，如圖3所示，該行星式齒輪減速機21具有由馬達20帶動的太陽齒輪210，太陽齒輪210的外緣透過一個或一個以上平均配置的行星齒輪211與內齒輪212嚙合，借由該內齒輪212旋轉帶動減速機的軸心213運轉，使相對于馬達20的轉速產生減速作用并提供相對大的轉矩來啟閉前述閥體。