日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[實(shí)用新型]氣閥裝置無(wú)效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200720176882.2 申請(qǐng)日: 2007-09-27
公開(kāi)(公告)號(hào): CN201149119Y 公開(kāi)(公告)日: 2008-11-12
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 黃世舟;林慶東 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 貫旭企業(yè)有限公司
主分類號(hào): F16K31/04 分類號(hào): F16K31/04;F16K31/53
代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 張若華
地址: 中國(guó)臺(tái)灣桃園市*** 國(guó)省代碼: 中國(guó)臺(tái)灣;71
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 氣閥 裝置
【說(shuō)明書(shū)】:

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)用新型涉及一種氣閥裝置,主要為配置于半導(dǎo)體蝕刻薄膜制程的設(shè)備,用以控制反應(yīng)室內(nèi)蝕刻氣體的流量。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體的蝕刻薄膜技術(shù)有許多種,例如濕蝕刻、干蝕刻、電漿蝕刻、化學(xué)氣相沉積(CVD,Chemical?Vapor?Deposition)、物理氣相沉積(PVD,PhysicalVapor?Deposition)、氣體蝕刻等方式。氣體對(duì)半導(dǎo)體的蝕刻薄膜反應(yīng)過(guò)程中,當(dāng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室前必須經(jīng)由氣閥裝置控制流量,若該氣閥裝置受感知后反應(yīng)驅(qū)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)的速度不及,則容易造成蝕刻薄膜反應(yīng)氣體(例如氟化氫等氣體)外泄導(dǎo)致接口設(shè)備腐蝕等危害,或者造成反應(yīng)室內(nèi)氣體不均等現(xiàn)象。

公知運(yùn)轉(zhuǎn)氣閥裝置的驅(qū)動(dòng)模組如圖1所示,該驅(qū)動(dòng)模組1包括馬達(dá)10透過(guò)皮帶11橫向帶動(dòng)減速機(jī)構(gòu)12及聯(lián)軸器13,透過(guò)聯(lián)軸器13的末端驅(qū)使所連結(jié)的閥體14的閥門(mén)15運(yùn)轉(zhuǎn)啟閉;由于這種皮帶11傳動(dòng)方式易造成壽命短、精度差、磨耗大、更換不易與調(diào)整難度高等問(wèn)題,而導(dǎo)致制程的瑕疵及設(shè)備成本的增加,必須加以改善。

再者,由于皮帶傳動(dòng)的行程長(zhǎng),致反應(yīng)時(shí)間較長(zhǎng),更易形成如前述蝕刻反應(yīng)氣體外泄導(dǎo)致接口設(shè)備腐蝕等危害,或者造成反應(yīng)室內(nèi)氣體不均等現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此,本實(shí)用新型的目的是提供一種耐用、反應(yīng)快且使用安全的氣閥裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型主要包括閥體及驅(qū)動(dòng)模組,該驅(qū)動(dòng)模組連接于閥體的底端用以驅(qū)動(dòng)閥體運(yùn)行。所述驅(qū)動(dòng)模組依序包括馬達(dá),行星式齒輪減速機(jī)及聯(lián)軸器,以軸向直結(jié)方式串聯(lián),該聯(lián)軸器末端連結(jié)有閥體。

本實(shí)用新型的氣閥裝置,改善以上先前技術(shù)在應(yīng)用上所產(chǎn)生的缺失,以行星式齒輪減速機(jī)取代傳統(tǒng)的皮帶傳動(dòng)方式,并與馬達(dá)及聯(lián)軸器間以軸向直結(jié)方式連動(dòng),其不僅可以改善皮帶傳動(dòng)所形成的弊端,更可以加速閥體的反應(yīng)時(shí)間,以解決蝕刻反應(yīng)氣體外泄,或者反應(yīng)室內(nèi)氣體不均等問(wèn)題。

至于本實(shí)用新型的詳細(xì)內(nèi)容及其它技術(shù)特征,則請(qǐng)參考以下所舉的實(shí)施方式及相關(guān)附圖所述。

附圖說(shuō)明

圖1為公知?dú)忾y裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本實(shí)用新型的氣閥裝置所屬驅(qū)動(dòng)模組的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3為本實(shí)用新型的驅(qū)動(dòng)模組所屬行星式齒輪減速機(jī)主要結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為本實(shí)用新型的行星式齒輪減速機(jī)連結(jié)馬達(dá)的輸入端結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

驅(qū)動(dòng)模組1???????????????????馬達(dá)10

皮帶11??????????????????????減速機(jī)構(gòu)12

聯(lián)軸器13????????????????????閥體14

閥門(mén)15

驅(qū)動(dòng)模組2???????????????????馬達(dá)20

行星齒輪減速機(jī)21????????????聯(lián)軸器22

固定板23????????????????????轉(zhuǎn)軸24

第一載板25??????????????????第一直立式支架26

散熱片27????????????????????第二直立式支架28

第二載板29??????????????????馬達(dá)軸心201

太陽(yáng)齒輪210?????????????????行星齒輪211

內(nèi)齒輪212???????????????????減速機(jī)軸心213

行星式齒輪減速機(jī)與馬達(dá)連結(jié)的輸入端214

感應(yīng)器3

筒夾4?????????????????壁面40

長(zhǎng)條孔41

螺栓5

具體實(shí)施方式

如圖2所示,本實(shí)用新型的氣閥裝置,主要是配置于半導(dǎo)體蝕刻薄膜制程的設(shè)備,用以控制反應(yīng)室內(nèi)蝕刻氣體的流量。

所述裝置包括閥體(該閥體的型式請(qǐng)參考圖1所示,與該公知閥體相同故未再予揭露)及驅(qū)動(dòng)模組2,所述驅(qū)動(dòng)模組2連接于閥體用以控制并驅(qū)動(dòng)閥體的啟閉。

所述驅(qū)動(dòng)模組2依序包括馬達(dá)20,行星式齒輪減速機(jī)21及聯(lián)軸器22,以軸向直結(jié)方式串聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)并控制聯(lián)軸器22末端連結(jié)的閥體產(chǎn)生啟閉動(dòng)作。

所述行星式齒輪減速機(jī)21被定位在固定板23上,如圖3所示,該行星式齒輪減速機(jī)21具有由馬達(dá)20帶動(dòng)的太陽(yáng)齒輪210,太陽(yáng)齒輪210的外緣透過(guò)一個(gè)或一個(gè)以上平均配置的行星齒輪211與內(nèi)齒輪212嚙合,借由該內(nèi)齒輪212旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)減速機(jī)的軸心213運(yùn)轉(zhuǎn),使相對(duì)于馬達(dá)20的轉(zhuǎn)速產(chǎn)生減速作用并提供相對(duì)大的轉(zhuǎn)矩來(lái)啟閉前述閥體。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于貫旭企業(yè)有限公司,未經(jīng)貫旭企業(yè)有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/200720176882.2/2.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說(shuō)明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說(shuō)明書(shū);

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級(jí)為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請(qǐng)您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊(cè)】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識(shí) 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢?cè)诰€客服咨詢?cè)诰€客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 国产呻吟高潮| 久久国产精品精品国产| 国产一级片子| 欧美黑人巨大久久久精品一区| 欧美在线视频三区| freexxxxxxx| 国产精品乱战久久久| 精品福利一区| 久久久中精品2020中文| 狠狠躁日日躁狂躁夜夜躁av| 国产日本一区二区三区| 99久久婷婷国产综合精品草原| 99精品在免费线偷拍| 狠狠插狠狠插| 久久久久久亚洲精品| 手机看片国产一区| **毛片在线免费观看| 精品国产一区在线| 欧美日韩九区| 国产精品国产三级国产专播精品人 | 久久久午夜爽爽一区二区三区三州| 国产亚洲精品久久久久动| 久久69视频| 欧美日韩中文字幕一区二区三区| av素人在线| 国产日韩精品一区二区| 99国产精品久久久久老师| 日韩av一二三四区| 久久99精品久久久大学生| 国产二区三区视频| 国产精品免费一视频区二区三区| 亚洲v欧美v另类v综合v日韩v| 欧美日韩一区二区三区在线播放| 久久免费精品国产| 国产精品免费自拍| 久久精品国产99| 亚洲乱玛2021| 日韩精品中文字幕一区二区| 国产精品国产三级国产aⅴ下载| 久久久精品欧美一区二区免费| 久久国产麻豆| 国产免费第一区| 日韩av在线资源| 精品国产二区三区| 日韩亚洲精品视频| 日韩欧美多p乱免费视频| 国产午夜精品一区二区三区最新电影 | 福利电影一区二区三区| 91国内精品白嫩初高生| 狠狠色噜噜狠狠狠狠2021天天| 国产一区二区91| 午夜少妇性影院免费观看| 欧洲另类类一二三四区| 91精品一区二区中文字幕| 国产女人好紧好爽| 日韩欧美一区二区在线视频| 日韩精品一区二区三区在线| 不卡在线一区二区| 91久久精品国产91久久性色tv| 午夜无遮挡| 5g影院天天爽入口入口| 久久99精品国产麻豆婷婷洗澡 | 国产一级在线免费观看| 狠狠色狠狠色综合久久第一次| 中文字幕av一区二区三区四区| 国产区精品| 午夜影院h| 国产亚洲精品久久久456| freexxxx性| 香蕉av一区二区三区| 岛国精品一区二区| 日本高清不卡二区| 一色桃子av大全在线播放| 日本美女视频一区二区三区| 亚洲精品一区二区三区98年| 日韩精品一区二区亚洲| **毛片在线| 99国产精品久久久久99打野战 | 日韩欧美高清一区二区| 午夜看片网址| 日本午夜无人区毛片私人影院 | 日韩一区高清| 日本精品一区视频| 日本精品一区二区三区在线观看视频 | 精品一区中文字幕| 国产免费区| 欧美一级不卡| 国产精品一二三区视频出来一 | 国产精品欧美一区乱破| 91一区二区三区视频| 91麻豆精品国产91久久久资源速度| 国产色午夜婷婷一区二区三区| 欧美日韩中文字幕三区| 午夜天堂电影| 国产精品久久国产三级国电话系列 | 麻豆精品久久久| 99精品在免费线偷拍| 久久99精品国产一区二区三区| 久久人91精品久久久久久不卡| 国产精品一二三在线观看| 精品国产一区二区三区免费 | 一区二区欧美视频| 国产午夜亚洲精品| 国产97在线播放| 性欧美一区二区三区| 国产jizz18女人高潮| 国偷自产中文字幕亚洲手机在线| 国精产品一二四区在线看| 四虎国产精品永久在线国在线| 夜夜精品视频一区二区| 久久久精品99久久精品36亚| 色妞妞www精品视频| 日韩av中文字幕第一页| 激情久久久| 久久久久国产亚洲| 日韩中文字幕亚洲欧美| 91麻豆精品国产91久久| 国偷自产一区二区三区在线观看 | 国产一区二区三区午夜| 热久久国产| 欧美日韩亚洲另类| 国产亚洲精品久久久久动| 日本一二三区视频在线| 亚洲1区2区3区4区| 亚洲二区在线播放视频| 欧美午夜看片在线观看字幕| 韩国视频一区二区| 久久精品国语| 亚洲欧洲一区二区| 91热精品| 欧美精品免费看| 久久影视一区二区| 美女啪啪网站又黄又免费| sb少妇高潮二区久久久久| 国产精品国产三级国产专区51区| 国产一区不卡视频| 91精品综合| 91麻豆精品国产91久久久久推荐资源| 狠狠色狠狠色很很综合很久久| 日本五十熟hd丰满| 97久久精品人人做人人爽50路| 亚洲欧洲一二三区| 欧美日韩卡一卡二| 欧美三级午夜理伦三级老人| 亚洲国产视频一区二区三区| 久久精品综合| 国偷自产一区二区三区在线观看| 欧美日韩久久一区| 国产一区二区午夜| 国产日本一区二区三区| 国产一区二区三区乱码| 中文字幕一区二区三区乱码 | 国产午夜精品一区二区三区最新电影| 国产呻吟久久久久久久92| 欧美性受xxxx狂喷水| 国产午夜亚洲精品羞羞网站| 色婷婷精品久久二区二区6| 亚洲一二三在线| 国产玖玖爱精品视频| xxxxhdvideosex| 久久国产中文字幕| 欧美亚洲另类小说| 国产馆一区二区| 一区二区91| 日韩国产不卡| 福利片91| 中文字幕一区二区三区不卡| 玖玖国产精品视频| 国产一区二区三区网站| 欧美在线免费观看一区| 欧美日韩综合一区| 免费xxxx18美国| 精品视频久| 国产一区欧美一区| 日本精品99| 亚洲国产精品一区二区久久hs| 中文字幕另类日韩欧美亚洲嫩草| 国产婷婷一区二区三区久久| 久久精品国产亚| 国产欧美一区二区三区免费| 久99久精品| 搡少妇在线视频中文字幕| 色噜噜狠狠狠狠色综合久| 国产一二区精品| 精品国产精品亚洲一本大道| 九九视频69精品视频秋欲浓| 国产91九色视频| 亚洲欧美一区二区三区三高潮| 国产精品欧美久久| 国产精品自产拍在线观看蜜| 中文字幕一区二区三区乱码视频| 久久久久国产亚洲日本| 狠狠色狠狠色88综合日日91 | 国产精品综合一区二区| 999国产精品999久久久久久| 久久精品国语| 日韩精品一区二区免费| 国产精品天堂| 国产精品一区二区在线观看免费| 精品国产1区2区3区| 久久国产精彩视频| 欧美日韩国产一二| 88888888国产一区二区| 中文字幕一二三四五区| 在线观看国产91| 97久久超碰国产精品红杏| 三级午夜片| 狠狠色丁香久久婷婷综| 久久aⅴ国产欧美74aaa| 国产欧美一区二区精品婷| 国产一区在线视频播放| 中出乱码av亚洲精品久久天堂| 夜夜嗨av色一区二区不卡| 91麻豆精品国产91久久久资源速度 | 欧美一级免费在线视频| 精品少妇一区二区三区 | 日韩欧美高清一区二区| 91久久精品在线| 亚洲欧美日韩另类精品一区二区三区 | 国产美女一区二区三区在线观看| 二区三区免费视频| 国产精品日产欧美久久久久| 国产欧美亚洲精品| 国产欧美综合一区| 国产在线卡一卡二| 午夜影院激情| 久久久久久亚洲精品中文字幕| 日韩精品久久久久久久电影99爱| 国产91高清| 亚洲视频精品一区| 国产精品亚洲一区| 国产精品9区| 亚洲欧美国产日韩综合| 久久国产精品-国产精品| 欧美日韩久久一区| 精品欧美一区二区在线观看| freexxxxxxx| 日韩毛片一区| 国模精品免费看久久久| 午夜影院你懂的| 亚洲精品久久久久中文字幕欢迎你| 理论片午午伦夜理片在线播放| 国产伦理精品一区二区三区观看体验 | 国产精品综合一区二区三区| 李采潭无删减版大尺度| 国产午夜一区二区三区|