[實(shí)用新型]氣閥裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720176882.2
• 申請(qǐng)日: 2007-09-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201149119Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃世舟;林慶東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 貫旭企業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): F16K31/04
• 分類號(hào): F16K31/04;F16K31/53
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 張若華

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種氣閥裝置，主要為配置于半導(dǎo)體蝕刻薄膜制程的設(shè)備，用以控制反應(yīng)室內(nèi)蝕刻氣體的流量。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體的蝕刻薄膜技術(shù)有許多種，例如濕蝕刻、干蝕刻、電漿蝕刻、化學(xué)氣相沉積(CVD，Chemical?Vapor?Deposition)、物理氣相沉積(PVD，PhysicalVapor?Deposition)、氣體蝕刻等方式。氣體對(duì)半導(dǎo)體的蝕刻薄膜反應(yīng)過(guò)程中，當(dāng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室前必須經(jīng)由氣閥裝置控制流量，若該氣閥裝置受感知后反應(yīng)驅(qū)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)的速度不及，則容易造成蝕刻薄膜反應(yīng)氣體(例如氟化氫等氣體)外泄導(dǎo)致接口設(shè)備腐蝕等危害，或者造成反應(yīng)室內(nèi)氣體不均等現(xiàn)象。

公知運(yùn)轉(zhuǎn)氣閥裝置的驅(qū)動(dòng)模組如圖1所示，該驅(qū)動(dòng)模組1包括馬達(dá)10透過(guò)皮帶11橫向帶動(dòng)減速機(jī)構(gòu)12及聯(lián)軸器13，透過(guò)聯(lián)軸器13的末端驅(qū)使所連結(jié)的閥體14的閥門(mén)15運(yùn)轉(zhuǎn)啟閉；由于這種皮帶11傳動(dòng)方式易造成壽命短、精度差、磨耗大、更換不易與調(diào)整難度高等問(wèn)題，而導(dǎo)致制程的瑕疵及設(shè)備成本的增加，必須加以改善。

再者，由于皮帶傳動(dòng)的行程長(zhǎng)，致反應(yīng)時(shí)間較長(zhǎng)，更易形成如前述蝕刻反應(yīng)氣體外泄導(dǎo)致接口設(shè)備腐蝕等危害，或者造成反應(yīng)室內(nèi)氣體不均等現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的是提供一種耐用、反應(yīng)快且使用安全的氣閥裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型主要包括閥體及驅(qū)動(dòng)模組，該驅(qū)動(dòng)模組連接于閥體的底端用以驅(qū)動(dòng)閥體運(yùn)行。所述驅(qū)動(dòng)模組依序包括馬達(dá)，行星式齒輪減速機(jī)及聯(lián)軸器，以軸向直結(jié)方式串聯(lián)，該聯(lián)軸器末端連結(jié)有閥體。

本實(shí)用新型的氣閥裝置，改善以上先前技術(shù)在應(yīng)用上所產(chǎn)生的缺失，以行星式齒輪減速機(jī)取代傳統(tǒng)的皮帶傳動(dòng)方式，并與馬達(dá)及聯(lián)軸器間以軸向直結(jié)方式連動(dòng)，其不僅可以改善皮帶傳動(dòng)所形成的弊端，更可以加速閥體的反應(yīng)時(shí)間，以解決蝕刻反應(yīng)氣體外泄，或者反應(yīng)室內(nèi)氣體不均等問(wèn)題。

至于本實(shí)用新型的詳細(xì)內(nèi)容及其它技術(shù)特征，則請(qǐng)參考以下所舉的實(shí)施方式及相關(guān)附圖所述。

附圖說(shuō)明

圖1為公知?dú)忾y裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的氣閥裝置所屬驅(qū)動(dòng)模組的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的驅(qū)動(dòng)模組所屬行星式齒輪減速機(jī)主要結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型的行星式齒輪減速機(jī)連結(jié)馬達(dá)的輸入端結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

驅(qū)動(dòng)模組1???????????????????馬達(dá)10

皮帶11??????????????????????減速機(jī)構(gòu)12

聯(lián)軸器13????????????????????閥體14

閥門(mén)15

驅(qū)動(dòng)模組2???????????????????馬達(dá)20

行星齒輪減速機(jī)21????????????聯(lián)軸器22

固定板23????????????????????轉(zhuǎn)軸24

第一載板25??????????????????第一直立式支架26

散熱片27????????????????????第二直立式支架28

第二載板29??????????????????馬達(dá)軸心201

太陽(yáng)齒輪210?????????????????行星齒輪211

內(nèi)齒輪212???????????????????減速機(jī)軸心213

行星式齒輪減速機(jī)與馬達(dá)連結(jié)的輸入端214

感應(yīng)器3

筒夾4?????????????????壁面40

長(zhǎng)條孔41

螺栓5

具體實(shí)施方式

如圖2所示，本實(shí)用新型的氣閥裝置，主要是配置于半導(dǎo)體蝕刻薄膜制程的設(shè)備，用以控制反應(yīng)室內(nèi)蝕刻氣體的流量。

所述裝置包括閥體(該閥體的型式請(qǐng)參考圖1所示，與該公知閥體相同故未再予揭露)及驅(qū)動(dòng)模組2，所述驅(qū)動(dòng)模組2連接于閥體用以控制并驅(qū)動(dòng)閥體的啟閉。

所述驅(qū)動(dòng)模組2依序包括馬達(dá)20，行星式齒輪減速機(jī)21及聯(lián)軸器22，以軸向直結(jié)方式串聯(lián)運(yùn)轉(zhuǎn)并控制聯(lián)軸器22末端連結(jié)的閥體產(chǎn)生啟閉動(dòng)作。

所述行星式齒輪減速機(jī)21被定位在固定板23上，如圖3所示，該行星式齒輪減速機(jī)21具有由馬達(dá)20帶動(dòng)的太陽(yáng)齒輪210，太陽(yáng)齒輪210的外緣透過(guò)一個(gè)或一個(gè)以上平均配置的行星齒輪211與內(nèi)齒輪212嚙合，借由該內(nèi)齒輪212旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)減速機(jī)的軸心213運(yùn)轉(zhuǎn)，使相對(duì)于馬達(dá)20的轉(zhuǎn)速產(chǎn)生減速作用并提供相對(duì)大的轉(zhuǎn)矩來(lái)啟閉前述閥體。