[實用新型]氣閥裝置

無效

• 申請號: 200720176882.2
• 申請日: 2007-09-27
• 公開（公告）號: CN201149119Y
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 黃世舟;林慶東
• 申請（專利權）人: 貫旭企業有限公司
• 主分類號: F16K31/04
• 分類號: F16K31/04;F16K31/53
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司
• 代理人: 張若華

1、一種氣閥裝置，為配置于半導體蝕刻薄膜制程的設備，用以控制反應室內蝕刻薄膜氣體的流量，該裝置包括閥體及驅動模組，所述驅動模組連接于閥體，用以控制并驅動閥體的啟閉；其特征在于：驅動模組依序包括馬達，行星式齒輪減速機及聯軸器，以軸向直結方式串聯，該聯軸器末端連結有閥體。

2、如權利要求1所述的氣閥裝置，其特征在于，所述行星式齒輪減速機包括由馬達帶動的太陽齒輪，太陽齒輪的外緣透過一個或一個以上平均配置的行星齒輪與內齒輪嚙合，借由該內齒輪旋轉帶動減速機的軸心運轉。

3、如權利要求2所述的氣閥裝置，其特征在于，所述行星式齒輪減速機的軸心與聯軸器直結，聯軸器相對端連結轉軸用以驅動閥體的運行。

4、如權利要求3所述的氣閥裝置，其特征在于，所述行星式齒輪減速機被定位在固定板上，其軸心穿出所述固定板。

5、如權利要求4所述的氣閥裝置，其特征在于，所述固定板定位行星式齒輪減速機的鄰側連結散熱片。

6、如權利要求4所述的氣閥裝置，其特征在于，所述閥體配置在第一載板上，第一載板與固定板之間以一個或一個以上第一直立式支架撐持，在第一載板與固定板之間，透過第二直立式支架軸向支撐第二載板，第二載板載有感應器。

7、如權利要求1、2、3或4所述的氣閥裝置，其特征在于，所述行星式齒輪減速機與馬達連結的輸入端內部以中空式筒夾固定在該輸入端，筒夾相鄰所述行星式齒輪減速機輸入端的一側的壁面開設有一個或一個以上對稱的長條孔，并在行星式齒輪減速機對應所述筒夾的外部以螺栓鎖入。