[實用新型]制備炭/炭構件的溫度梯度定向流動氣相沉積爐無效
| 申請號: | 200720173141.9 | 申請日: | 2007-09-14 |
| 公開(公告)號: | CN201144282Y | 公開(公告)日: | 2008-11-05 |
| 發明(設計)人: | 羅瑞盈;張云峰;羅京華;李進松 | 申請(專利權)人: | 北京航空航天大學 |
| 主分類號: | C23C16/26 | 分類號: | C23C16/26;C23C16/52 |
| 代理公司: | 北京慧泉知識產權代理有限公司 | 代理人: | 王順榮 |
| 地址: | 100083北京市海淀*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制備 構件 溫度梯度 定向 流動 沉積 | ||
1、一種制備炭/炭構件的溫度梯度定向流動氣相沉積爐,其是由爐蓋、石墨坩堝蓋、石墨蓋板、保溫層、圓盤形預制體、石墨坩堝、石墨發熱體、保溫氈、爐壁、石墨托物臺、坩堝支架、銅電極、爐底、進氣孔、熱電偶、抽氣孔組成;其特征在于:爐蓋設置在爐壁上方,石墨坩堝蓋設置在石墨坩堝上方,進氣孔設置在爐底上,銅電極上連有石墨發熱體并固定在爐底上,保溫氈置于石墨發熱體外部;用于測量內側溫度及外側溫度的熱電偶分別固定在爐底和爐壁上;爐底上還固定有支撐石墨坩堝的坩堝支架;石墨托物臺位于石墨坩堝的底部;圓盤形預制體與石墨蓋板之間、圓盤形預制體與石墨托物臺之間分別由保溫層隔開。
2、根據權利要求1所述的制備炭/炭構件的溫度梯度定向流動氣相沉積爐,其特征在于:該石墨托物臺中間設有供氣體進入預制體內部的孔。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





