[實用新型]制備炭/炭構(gòu)件的溫度梯度定向流動氣相沉積爐無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720173141.9 | 申請日: | 2007-09-14 |
| 公開(公告)號: | CN201144282Y | 公開(公告)日: | 2008-11-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 羅瑞盈;張云峰;羅京華;李進松 | 申請(專利權(quán))人: | 北京航空航天大學(xué) |
| 主分類號: | C23C16/26 | 分類號: | C23C16/26;C23C16/52 |
| 代理公司: | 北京慧泉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人: | 王順榮 |
| 地址: | 100083北京市海淀*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 制備 構(gòu)件 溫度梯度 定向 流動 沉積 | ||
(一)技術(shù)領(lǐng)域:
本實用新型涉及一種用于化學(xué)氣相滲透(CVI)工藝制造炭/炭構(gòu)件的裝置,屬于復(fù)合材料加工設(shè)備領(lǐng)域。
(二)背景技術(shù):
炭/炭構(gòu)件(C/C)即炭纖維增強炭基體復(fù)合材料,自其問世以來,因其具有許多其他材料無可比擬的優(yōu)異性能而越來越受到人們的重視。與傳統(tǒng)的金屬材料相比,C/C的質(zhì)輕,膨脹系數(shù)低,熱導(dǎo)率高,耐熱沖擊性能好,2200℃以內(nèi),強度隨溫度的升高而增加,能在極其苛刻的高溫條件下長時間工作,耐熱沖刷,可用于制造航空發(fā)動機的熱部件如渦輪葉片、火焰筒等,還可作結(jié)構(gòu)件用在飛機的主翼和副翼以及導(dǎo)彈的鼻錐上。C/C作為摩擦用剎車材料,比金屬材料剎車更穩(wěn)定、磨損率更低、使用壽命更長,已成為當(dāng)今飛機用最理想的剎車材料。在航空航天的諸多尖端技術(shù)領(lǐng)域,C/C愈來愈占據(jù)著不可替代的位置,C/C的獨特性能和應(yīng)用價值已得到普遍肯定。然而,C/C的制造工藝復(fù)雜,技術(shù)難度大,原材料價格昂貴,制品的成本長期以來居高不下,限制了其在航空航天、軍用,特別是民用領(lǐng)域的推廣應(yīng)用。
目前,國內(nèi)外采用的溫度梯度CVI工藝制備炭/炭復(fù)合材料的裝置主要有三種類型:第一種類型是采用電阻式或中頻感應(yīng)式的內(nèi)熱外冷溫度梯度CVI工藝設(shè)備,其特征是發(fā)熱體在預(yù)制體的內(nèi)側(cè),外側(cè)靠爐壁水冷,在預(yù)制體的徑向建立由內(nèi)至外的溫度梯度;第二種類型是采用電阻式或中頻感應(yīng)式加熱預(yù)制體的上端面,下端面為低溫面,在其厚度方向建立溫度梯度;第三種是采用電阻式或中頻感應(yīng)式加熱預(yù)制體的外側(cè),內(nèi)部裝有水冷柱,在預(yù)制體徑向建立由外至內(nèi)的溫度梯度。上述第一種和第三種設(shè)備,具有適應(yīng)各類型圓盤形炭/炭構(gòu)件結(jié)構(gòu)特點的特色,但因第一種的預(yù)制體的外側(cè)和第三種預(yù)制體的內(nèi)側(cè)溫度偏低,易形成光滑層熱解炭基體,其摩擦性能較差。第二種預(yù)制體厚度方向溫度梯度的設(shè)備,只能單件生產(chǎn),不適應(yīng)工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)。
(三)實用新型內(nèi)容:
本實用新型的目的在于:提供一種制備炭/炭構(gòu)件的溫度梯度定向流動氣相沉積爐,以提高前驅(qū)體利用率,縮短制備周期,制備高質(zhì)量的炭/炭構(gòu)件,降低成本費用,為國內(nèi)生產(chǎn)、使用炭/炭構(gòu)件提出一種合適的裝置。
本實用新型一種制備炭/炭構(gòu)件的溫度梯度定向流動氣相沉積爐,在保證獲得密度均勻和熱解炭結(jié)構(gòu)均一炭/炭構(gòu)件的前提下,最大限度地減小沉積系統(tǒng)的能量消耗和提高前驅(qū)體利用率,其技術(shù)方案為:
該沉積爐由爐蓋、石墨坩堝蓋、石墨蓋板、保溫層、圓盤形預(yù)制體、石墨坩堝、石墨發(fā)熱體、保溫氈、爐壁、石墨托物臺、坩堝支架、銅電極、爐底、進氣孔、熱電偶、抽氣孔組成;進氣孔設(shè)置在爐底上,氣體通過石墨托物臺中間的孔進入預(yù)制體內(nèi)部,由氣體流量與內(nèi)部壓力來控制圓盤形預(yù)制體內(nèi)外側(cè)的溫度差;銅電極上連有石墨發(fā)熱體并固定在爐底上,保溫氈置于石墨發(fā)熱體外部;用于測量內(nèi)側(cè)溫度及外側(cè)溫度的熱電偶分別固定在爐底和爐壁上;爐底上還固定有支撐石墨坩堝的坩堝支架;石墨托物臺位于石墨坩堝的底部;圓盤形預(yù)制體與石墨蓋板之間、圓盤形預(yù)制體與石墨托物臺之間分別由保溫層4隔開。氣態(tài)前驅(qū)體由進氣孔進入圓盤形預(yù)制體內(nèi),由于抽氣孔不斷的抽氣,在預(yù)制體內(nèi)外形成外高內(nèi)低的氣壓差,使得氣態(tài)前驅(qū)體通過圓盤形預(yù)制體進入石墨坩堝內(nèi),最后由抽氣孔將通過圓盤形預(yù)制體的氣體抽走。由于氣體流動帶走大部分熱量,使得預(yù)制體內(nèi)側(cè)溫度降低,而外圍溫度較高,在預(yù)制體徑向形成外熱內(nèi)冷的溫度梯度,氣體定向由低溫區(qū)流向高溫區(qū);采用兩種密度與孔隙率相差較大的預(yù)制體,使氣體無滯留,順暢通過預(yù)制體,氣態(tài)前驅(qū)體全部通過預(yù)制體,使氣體的利用率大幅度提高,縮短了制備周期;且可根據(jù)氣體的流量和壓力來控制溫度梯度的大小。
其中,該石墨托物臺中間設(shè)有供氣體進入預(yù)制體內(nèi)部的孔。
本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的有益效果是:
(1)由于內(nèi)部氣體流動帶走大部分熱量,在圓盤預(yù)制體的徑向建立了弱溫度梯度;
(2)由于采用兩種密度與孔隙率均相差較大的預(yù)制體,在預(yù)制體外側(cè)與內(nèi)側(cè)存在壓差,這樣氣體定向流過預(yù)制體孔隙,使碳源氣體甲烷(CH4)全部通過預(yù)制體,提高了其利用效率,且氣體定向流動的路徑通暢,無氣體滯留,可防止碳黑的形成;
(3)一次可裝預(yù)制體30~40件,在200~250小時可制備出密度1.73g/cm3的炭/炭構(gòu)件,具有生產(chǎn)周期短、產(chǎn)品成本低的特點,而且適用于工業(yè)化規(guī)模生產(chǎn);
(4)具有適應(yīng)各規(guī)格圓盤形炭/炭構(gòu)件,且在炭/炭構(gòu)件的摩擦面上得到粗糙層結(jié)構(gòu)熱解炭基體,具有摩擦性能好、熱效率高的特點,且設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應(yīng)產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學(xué)鍍覆,例如化學(xué)氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





