[實用新型]芯片分離設備

無效

• 申請號: 200720172389.3
• 申請日: 2007-10-16
• 公開（公告）號: CN201084714Y
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 陳棟棟
• 申請（專利權）人: 陳棟棟
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片分離設備，用于將芯片組件中的芯片與薄膜分離，其特征在于該芯片分離設備包括夾具、第一絲桿、第二絲桿、頂針和第一驅動裝置；該夾具設置在第一絲桿上并且用于固持芯片組件；該第一絲桿用于帶動該夾具在第一方向移動，并且該第一絲桿設置在該第二絲桿上；該第二絲桿用于帶動該第一絲桿在與第一方向垂直的第二方向移動；該頂針設置在該夾具的下方，并設置在該第一驅動裝置上，該第一驅動裝置用于推動該頂針向上運動并將芯片從薄膜上頂起。

2.如權利要求1所述的芯片分離設備，其特征在于：所述芯片分離設備進一步包括第二驅動裝置、第三驅動裝置和控制裝置；該控制裝置分別給該第二驅動裝置和第三驅動裝置提供控制信號，以便該第二驅動裝置驅動該第一絲桿轉動一定的轉數，該第三驅動裝置驅動該第二絲桿轉動一定的轉數。

3.如權利要求2所述的芯片分離設備，其特征在于：該控制裝置控制該第一驅動裝置驅動該頂針向上運動。

4.如權利要求1所述的芯片分離設備，其特征在于：所述芯片分離設備進一步包括吸頭，該吸頭設置在該夾具的上方并且與該頂針正對，以便在該控制裝置的控制下吸取被頂起的芯片。

5.一種芯片分離設備，用于將芯片組件中的芯片與薄膜分離，其特征在于該芯片分離設備包括夾具、第一絲桿、第二絲桿、頂針和第一驅動裝置；該夾具固定設置并且用于固持芯片組件；該第一驅動裝置設置在第一絲桿上，該第一絲桿用于帶動該第一驅動裝置在第一方向移動；該第一絲桿設置在該第二絲桿上，該第二絲桿用于帶動該第一絲桿在與第一方向垂直的第二方向移動；該頂針設置在該夾具的下方，并設置在該第一驅動裝置上，該第一驅動裝置用于推動該頂針向上運動并將芯片從薄膜上頂起。

6.如權利要求5所述的芯片分離設備，其特征在于：所述芯片分離設備進一步包括第二驅動裝置、第三驅動裝置和控制裝置；該控制裝置分別給該第二驅動裝置和第三驅動裝置提供控制信號，以便該第二驅動裝置驅動該第一絲桿轉動一定的轉數，該第三驅動裝置驅動該第二絲桿轉動一定的轉數。

7.如權利要求6所述的芯片分離設備，其特征在于：該控制裝置控制該第一驅動裝置驅動該頂針向上運動。

8.如權利要求5所述的芯片分離設備，其特征在于：所述芯片分離設備進一步包括吸頭，該吸頭設置在該夾具的上方并且與該頂針正對，以便在該控制裝置的控制下吸取被頂起的芯片。