[實用新型]一種制程設備輔助進氣口無效
| 申請號： | 200720157134.X | 申請日： | 2007-07-03 |
| 公開（公告）號： | CN201061929Y | 公開（公告）日： | 2008-05-21 |
| 發明（設計）人： | 巫吉生;張嘉原 | 申請（專利權）人： | 志圣工業股份有限公司 |
| 主分類號： | B41F23/04 | 分類號： | B41F23/04 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 | 代理人： | 張全文 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 設備 輔助 進氣口 | ||
【權利要求書】：
1.一種制程設備輔助進氣口，其特征在于，其包括一處理區，所述處理區內設有一輔助進氣部，所述輔助進氣部上設有多個噴出輔助氣流的輔助氣孔。
2.如權利要求1所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述輔助進氣部系延伸有多個輔助氣管，所述輔助氣孔設置于所述輔助氣管上。
3.如權利要求1或2所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述輔助氣孔呈大小不同的形態。
4.如權利要求1或2所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述輔助氣孔的方向可調整。
5.如權利要求3所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述輔助氣孔的方向可調整。
6.如權利要求1或2所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述制程設備輔助進氣口裝置本體為一紫外線多層爐。
7.如權利要求3所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述制程設備輔助進氣口裝置本體為一紫外線多層爐。
8.如權利要求4所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述制程設備輔助進氣口裝置本體為一紫外線多層爐。
9.如權利要求5所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述制程設備輔助進氣口裝置本體為一紫外線多層爐。
10.如權利要求2所述的制程設備輔助進氣口，其特征在于，所述輔助進氣部由同一側或不同側延伸出多個輔助氣管。
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