[實用新型]機械式晶圓固定裝置

無效

• 申請號: 200720148297.1
• 申請日: 2007-05-18
• 公開（公告）號: CN201072755Y
• 公開（公告）日: 2008-06-11
• 發明（設計）人: 陳慶安
• 申請（專利權）人: 志圣工業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

技術領域

本實用新型涉及一種機械式晶圓固定裝置，特別是涉及一種具緩沖效果且不易損壞晶圓的指形壓夾。

背景技術

晶圓在蝕刻的制程中需有一的械具令其位置固定，而該械具的設計良窳，則直接關系到晶圓制程的良率，如何設計出一可有效固定，卻又不會使晶圓損壞的夾具，實為一改良重點所在。

請參閱中國臺灣專利申請案號87212441號，“干式蝕刻機的晶圓夾具”，以及美國專利640664號，『C1amp?for?affixing?a?wafer?in?an?etchingchamber』，上述兩件習用前案，其皆是利用一鉗環式的夾具以固定晶圓，該鉗環內徑具有復數向圓心略為伸出的凸耳，借該凸耳以壓觸于晶圓的外圍，并達到固定晶圓的目的；

上述習用前案雖具定位晶圓之效，然而其無可避免的會有下列缺失：

1.直接以環鉗的凸耳壓迫于晶圓上的固定方式，該環鉗、凸耳、晶圓之間并無法設計出有一效的緩沖機制，意即一但環鉗的壓力過大，該壓力便會立刻經由凸耳施于晶圓上，而晶圓與凸耳接觸之處便難逃損壞的命運。

2.無法限制鉗環對晶圓的向下總壓力最大值，若該鉗環因夾放動作的行程過大，造成總下壓力突增時，則該總下壓力亦會完全傳遞至晶圓上，如此突增的過大的總壓力，不單會造成晶圓磨損，甚至會令晶圓破裂。

3.如申請案號87212441的前案圖5至7所示，由于鉗環上每一凸耳的施力均相同且無法單獨調整控制，若遇特殊規格的晶圓則難以配合使用，需配合更換不同規格鉗環以配合之，如此不僅成本較高且操作上更為不便。

綜上所述可知，習用晶圓夾具可說是相當的不具有實用性，仍有加以改良的必要。

有鑒于上述現有的晶圓夾存在的缺陷，本設計人基于從事此類產品設計制造多年豐富的實務經驗及專業知識，并配合學理的運用，積極加以研究創新，以期創設一種新型結構的機械式晶圓固定裝置，能夠改進一般現有的晶圓夾，使其更具有實用性。經過不斷的研究、設計，并經過反復試作樣品及改進后，終于創設出確具實用價值的本實用新型。

發明內容

本實用新型的主要目的在于，克服現有的晶圓夾存在的缺陷，而提供一種新型結構的機械式晶圓固定裝置，所要解決的技術問題是使其改善習用的晶圓固定裝置不具緩沖功效、無法限制向下總壓力、單一凸耳難以各別調整等缺失，從而更加適于實用。

本實用新型的目的及解決其技術問題是采用以下的技術方案來實現的。依據本實用新型提出的一種機械式晶圓固定裝置，其本體是包括一基部與一身部，該基部是供固定本體之用，而該身部前端設有一壓件與一彈性件，借該彈性件提供壓件壓固時的緩沖效果。

本實用新型的目的及解決其技術問題還可以可采用以下的技術措施來進一步實現。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的身部設有一較壓件凸出的停止塊。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的身部前端設有一穿孔供壓件與彈性件容設。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的穿孔頂端設有一固定件。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的基部設有至少一定位孔。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的本體是由基部向身部前端漸縮，而呈一流線型。

本實用新型的目的及解決其技術問題還采用以下技術方案來實現。依據本實用新型提出的一種機械式晶圓固定裝置，其本體是包括一基部與一身部，該基部是供固定本體之用，而該身部前端形成有一具彈性的壓件，借該壓件自身的彈力而提供壓固時的緩沖效果。

本實用新型的目的及解決其技術問題還可以采用以下的技術措施來進一步實現。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的身部設有一較壓件凸出的停止塊。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的基部設有至少一定位孔。

前述的機械式晶圓固定裝置，其中所述的本體是由基部向身部前端漸縮，而呈一流線型。

本實用新型與現有技術相比具有明顯的優點和有益效果。