[實用新型]光罩盒

有效

• 申請號: 200720139140.2
• 申請日: 2007-09-05
• 公開（公告）號: CN201112367Y
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 邱銘隆
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;G03F1/00;G03F7/20;B65D81/18
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

1.一種光罩盒，與一充氣裝置結合；其特征在于包括：

一頂蓋；以及

一基座，與頂蓋組合形成一內部空間，可容置至少一光罩，該基座包括有：

一本體，該本體具有兩相對的上下表面以及多個通孔設置于該上下表面；與

一可撓性片體，設置于該基座相向于該頂蓋之本體的上表面，該可撓性片體上設有多個狹縫，這些狹縫界定出多個舌片各對應覆蓋于各通孔上方。

2.如權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該充氣裝置經由該通孔將氣體填充入光罩盒內部。

3.如權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該頂蓋與基座為高分子或塑料材質。

4.如權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該可撓性片體為金屬材質。

5.如權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該可撓性片體為不銹鋼材質。

6.如權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：這些通孔包含至少一充氣孔及至少一排氣孔。

7.如權利要求1所述的光罩盒，其特征在于：該光罩盒進一步包含有多個密封栓卡設于該些通孔內，該密封栓中間具一貫穿孔。

8.如權利要求7所述的光罩盒，其特征在于：該基座的本體的上表面具有一圓形凹槽與該通孔連接，該密封栓一端有突緣結構，可與該圓形凹槽卡設而密切結合。

9.如權利要求7所述的光罩盒，其特征在于：該密封栓為高分子材質。

10.如權利要求7所述的光罩盒，其特征在于：該密封栓為塑料材質。