[實用新型]光罩盒

有效

• 申請號: 200720139140.2
• 申請日: 2007-09-05
• 公開（公告）號: CN201112367Y
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 邱銘隆
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;G03F1/00;G03F7/20;B65D81/18
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周國城

技術領域

本實用新型涉及一種光罩盒。

背景技術

在半導體制程中，光罩盒的功能是移動以及存放光罩(Photomask)時的置放裝置，目的是用以隔絕光罩與大氣的接觸，進一步防止光罩表面產生霧化作用，隔絕受外界污染的機會。特別是在機械標準接口(StandardMechanical?Interface；SMIF)的要求之下，除了達到潔凈度的標準要求之外，還要克服因為外來氣體對于光罩的污染。這樣的外來氣體除了大氣以外，還有兩個來源，其一是源自于高分子材料所制成的光罩盒本身所釋出的氣體(outgasing)，其二是源自于殘留在光罩表面的微量化學溶液所產生的揮發氣體。有效提升光罩盒內的光罩與大氣隔絕的效果，可延長光罩的使用壽命，此有助于降低半導體制造的成本并可提升產品的良率。

過去使用的光罩盒，只有基本置放光罩的功能，無法進一步清潔并有效的維持光罩處于一個潔凈環境中，隨著光罩構造越趨精密，相對的對受污染的容忍度越低，然而現有的光罩盒無法主動清潔光罩，容易造成光罩受外界污染，而使得光罩不能再使用而報廢，耗損生產成本并影響生產進度。

實用新型內容

本實用新型主要目的是提供一種光罩盒結構，利用該光罩盒與一充氣裝置結合，來防止外界污染物對光罩產生的損害。

本實用新型的另一目的是提供一種具有清潔效果的光罩盒結構，能通過充氣裝置充氣來清潔放于光罩盒的中的光罩，使光罩維持在潔凈的環境中，進一步延長光罩的使用壽命。

本實用新型還有一目的，是提供一種具有充氣功能的光罩盒的結構，除可降低光罩霧化的問題外，還可增加光罩儲存的時間。

本實用新型的再一目的，是在提供一種具通孔的光罩盒的結構，通過通孔將充氣裝置內的氣體填充入光罩盒內，以強化光罩盒的穩定儲存狀態。

基于上述的目的，本實用新型提供一種光罩盒，該光罩盒，與一充氣裝置結合配搭；包括了一頂蓋及一基座，該頂蓋與基座組合形成一內部空間，該內部空間可容置至少一光罩。該光罩盒基座有一本體，該本體具有兩相對的上下表面，而該上下表面上有多個通孔設置，該基座上又有一可撓性片體，設置于該基座相向于該頂蓋之本體的上表面，而此可撓性片體上設有多個狹縫，這些狹縫界定出多個舌片各對應覆蓋于各貫穿孔上方，充氣裝置可經由該通孔將氣體填充入光罩盒內部。該光罩盒包含有多個密封栓卡設于通孔內，該密封栓中間具一貫穿孔。而該基座的本體的上表面具有一圓形凹槽與該通孔連接，該密封栓一端有突緣結構，可與該圓形凹槽卡設而密切結合，當充氣裝置預充氣時，充氣裝置將穿過通孔內部的密封栓內的貫穿孔，并推開貫穿孔上方的舌片將氣體填充入光罩盒內部；反之，當充氣裝置退出時或光罩盒未充氣時，該舌片將自動彈回原來位置，與該密封栓緊密貼合，達到光罩盒內部封閉的效果。

本實用新型的有益效果是，經由本實用新型所提供的設計，除了可使光罩平順容易導入光罩盒中以及有效地固定光罩外，還進一步提供防止光罩受大氣及外界污染的功能，可使得光罩壽命得以提高，此外，本發明的具有充氣功能的光罩盒，還可提供一氣密的空間，以保護光罩及避免光罩霧化的功效。

附圖說明

圖1：為根據本發明一實施例的光罩盒的側視圖；

圖2：為根據與本發明結合的氣體充填設備的氣體充填室的立體圖。

圖3A：為根據本發明一實施例的光罩盒的圖；

圖3B：是沿圖3A的B-B線所得的通孔剖面圖；

圖4A：為根據本發明一實施例的密封栓示意圖；

圖4B：為根據本發明一實施例的光罩盒基座示意圖。

【主要組件符號說明】

1???????光罩盒

2???????充氣裝置

10??????頂蓋

20??????基座

101?????第一凸形體

103?????第二凸形體

105?????挾持裝置

107?????通氣嘴

201?????通孔

202?????外部開口

203?????內部開口

204?????本體

206?????可撓性片體

207?????狹縫

208??舌片

209??密封栓

211??貫穿孔

213??圓形凹槽

215??突緣結構

具體實施方式