[實用新型]晶片分選測試電極裝置

無效

• 申請號: 200720130898.X
• 申請日: 2007-12-12
• 公開（公告）號: CN201130232Y
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 鐘丹秋;徐華軍;謝金才;孫迎春
• 申請（專利權）人: 南京熊貓儀器儀表有限公司
• 主分類號: G01R31/265
• 分類號: G01R31/265;B07C5/00
• 代理公司: 南京天翼專利代理有限責任公司
• 代理人: 湯志武

1、晶片分選測試電極裝置，其特征是由偏心輪、步進電機、尋位圓盤、光電傳感器、擺動桿、電子數顯千分尺、高精度滑塊A、高精度滑塊B、測試電極、拉簧構成，步進電機驅動偏心輪和尋位圓盤，杠桿結構的擺動桿與偏心輪接觸，測試電極固定在高精度滑塊A上并沿著軌道滑動，該高精度滑塊A通過一連接塊固定在另一高精度滑塊B上，高精度滑塊B設有與滑塊B接觸的電子數顯千分尺；偏心輪在擺動桿后端順時針轉動，擺動桿前端的測試電極就相應的做上下往復運動，其中由步進電機驅動偏心輪轉動，拉簧B兩端分別固定于滑塊B和滑塊A的側面，保持滑塊B和電子數顯千分尺底端的接觸。

2、根據權利要求1所述的晶片分選測試電極機構裝置，其特征是：步進電機的軸上還設有一帶有細小缺口的尋位圓盤，尋位圓盤的上方設有一光電傳感器。

3、根據權利要求1所述的晶片分選測試電極機構裝置，其特征是：測試電極與被測晶片之間需保留0.03-0.05mm的間隙，設有測試電極與晶片保持0.03-0.05mm間隙的鎖緊手柄。