[實用新型]一種利用氯氫化法把四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720127716.3 | 申請日： | 2007-08-08 |
| 公開（公告）號： | CN201136791Y | 公開（公告）日： | 2008-10-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陳維平 | 申請（專利權(quán)）人： | 徐州東南多晶硅材料研發(fā)有限公司;華陸工程科技有限責任公司 |
| 主分類號： | C01B33/107 | 分類號： | C01B33/107;C01B33/03 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 韋欣華 |
| 地址： | 江蘇省徐州市經(jīng)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 利用 氫化 氯化 轉(zhuǎn)化 三氯氫硅 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種利用氯氫化法把四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的裝置，其包括烘粉爐、沸騰床反應(yīng)器、旋風分離器、熱量回收裝置、洗滌塔和冷凝回收裝置，其中沸騰床反應(yīng)器由位于上部的氣體分離部分，位于中部的反應(yīng)部分，和位于底部的進料部分組成，其中氣體分離部分的直徑大于反應(yīng)部分的直徑，其中在氣體分離部分頂部設(shè)有出料口，進料部分上有氯化氫進氣口、四氯化硅進氣口、氫氣進氣口和硅粉進料口，其中氯化氫進氣口、四氯化硅進氣口和氫氣進氣口與反應(yīng)器內(nèi)設(shè)置的氣體分布板連通，而硅粉進料口位于氣體分布板之上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中沸騰床反應(yīng)器采用管式外部電加熱裝置。
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