[實用新型]光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720127316.2
• 申請日: 2007-08-10
• 公開（公告）號: CN201134421Y
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設計）人: 廖莉雯
• 申請（專利權）人: 廖莉雯
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677;G03F1/00;G03F7/20;B65D81/18
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權代理有限責任公司
• 代理人: 壽寧;張華輝

1、?一種光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其用于容置光掩模的移載容器，其特征在于該充氣柜包含有：

一柜體，其具有一供擺置移載容器的容置空間，該柜體的容置空間可選擇性啟閉；

至少一循環(huán)單元，其設于前述柜體的容置空間內(nèi)，各循環(huán)單元供對應一移載容器，循環(huán)單元具有至少一對應連通移載容器內(nèi)部與光掩模相鄰環(huán)境的充氣元件，且循環(huán)單元具有至少一對應連通移載容器內(nèi)部與光掩模相鄰環(huán)境的排氣元件，使得移載容器內(nèi)部氣體通過循環(huán)單元產(chǎn)生循環(huán)流動。

2、?根據(jù)權利要求1所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的柜體由一利用多個縱、橫桿組成的框架所構(gòu)成，框架外圍周面設有封閉形成容置空間的側(cè)板，再者柜體于框架異于側(cè)板開口設有至少一可選擇性啟閉的門板，供移載容器進、出該柜體。

3、?根據(jù)權利要求1所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的柜體于底部設有多個移動滾輪，便于移動該光掩模充氣柜的柜體，且柜體底部并具有多個可調(diào)式的定位元件，讓柜體穩(wěn)固的定位于固定位置。

4、?根據(jù)權利要求1或2或3所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的柜體內(nèi)設有多層供擺置移載容器的承載隔板，各層承載隔板上具有網(wǎng)孔，以防止微粒沉積于承載隔板表面。

5、?根據(jù)權利要求1所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的循環(huán)單元上設有至少一檢知元件，供感應移載容器是否定位置設于柜體內(nèi)。

6、?根據(jù)權利要求1所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的循環(huán)單元具有一無線射頻識別系統(tǒng)的讀取元件，而移載容器內(nèi)設有對應的儲存元件，使得該讀取元件供傳輸與讀取移載容器內(nèi)光掩模的相關資訊。

7、?根據(jù)權利要求1所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的移轉(zhuǎn)容器具有一容置光掩模、且可選擇性啟閉的容置空間，該移轉(zhuǎn)容器上設有至少一連通容置空間與充氣元件的進氣元件，移轉(zhuǎn)容器上另設有至少一連通容置空間與排氣元件的出氣元件，其中進、出氣元件具有防止移轉(zhuǎn)容器閉合時氣體溢出的選擇性氣密功能。

8、?根據(jù)權利要求1或7所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的循環(huán)單元的充、排氣元件分別具有一管體、一活動件、一復位彈簧及一活塞墊圈，管體內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片，又活動件兩端分別形成有一較大徑的抵頂端與一較小徑的閉合端，使活動件可以閉合端穿套前述復位彈簧后、穿經(jīng)隔片，并利用前述的活塞墊圈嵌套于該閉合端上，使活動件可于管體內(nèi)受復位彈簧提供的彈性偏壓力產(chǎn)生浮動，供利用活動件的活塞墊圈相對遠離或靠近管體隔片，供阻隔氣體或使氣體連通，再者充、排氣元件的活動件具有一對應作動移載容器進、出氣元件的抵頂凸柱。

9、?根據(jù)權利要求8所述的光掩模充氣柜結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的移轉(zhuǎn)容器的進、出氣元件分別具有一管體、一活動件、一復位彈簧及一活塞墊圈，管體內(nèi)部中段形成有一供氣體流經(jīng)的中空隔片，又活動件兩端分別形成有一較大徑的抵頂端與一較小徑的閉合端，使活動件可以閉合端穿套前述復位彈簧后、穿經(jīng)隔片，并利用前述的活塞墊圈嵌套于該閉合端上，使活動件可于管體內(nèi)受復位彈簧提供的彈性偏壓力產(chǎn)生浮動，供利用活動件的活塞墊圈相對遠離或靠近管體隔片，供阻隔氣體或使氣體連通。