[實用新型]分子泵

無效

• 申請號: 200720127285.0
• 申請日: 2007-08-01
• 公開（公告）號: CN201092967Y
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 朱岳
• 申請（專利權）人: 朱岳
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種分子泵，所述的分子泵包括電機組件(1)、動葉輪組件(2)、靜葉片(4)、電機主軸(5)、泵殼(6)、泵底盤(7)和排氣口(8)；其特征在于：

所述的動葉輪組件(2)直聯在所述的電機主軸(5)上；

所述的動葉輪組件(2)由動葉片(3)串聯組成，并自上而下分別構成抽氣級動葉片和壓縮級動葉片；

所述的動葉片(3)與所述的靜葉片(4)交錯排列；

所述的靜葉片(4)的葉齒的內、外端均為整體環形，其外環形內徑小于或等于所述的動葉片(3)的外徑；

所述的分子泵的末級葉片為靜葉片(4)；

所述的靜葉片(4)固定在所述的泵殼(6)和泵底盤(7)上。

2.根據權利要求1所述的分子泵，其特征在于：

所述的抽氣級動葉片的數量≥1級；所述的壓縮級動葉片的數量≥2級。

3.根據權利要求1所述的分子泵，其特征在于：

所述的抽氣級動葉片為楔形變截面葉齒的動葉片；所述的壓縮級動葉片為臺階式變截面葉齒的動葉片，所述的臺階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚。

4.根據權利要求2或3所述的分子泵，其特征在于：

所述的抽氣級動葉片的數量為3級；所述的壓縮級動葉片的數量為8級。

5.根據權利要求3所述的分子泵，其特征在于：

所述的臺階式變截面葉齒的臺階處為弧面或平面。

6.根據權利要求3所述的分子泵，其特征在于：

所述的臺階式變截面葉齒的臺階數量≥2。

7.根據權利要求6所述的分子泵，其特征在于：

所述的臺階數量等于3，由外向里其厚度分別為0.1cm、0.2cm、0.3cm。

8.根據權利要求1所述的分子泵，其特征在于：

所述的壓縮級動葉片為矩形葉齒的動葉片。

9.根據權利要求8所述的分子泵，其特征在于：

所述的矩形葉齒的動葉片的數量為10級。