[實用新型]分子泵

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720127285.0
• 申請日: 2007-08-01
• 公開（公告）號: CN201092967Y
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱岳
• 申請（專利權(quán)）人: 朱岳
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種與流體相關(guān)的機械裝置，尤其是指一種真空泵，更為具體地講，本實用新型是一種分子泵，在國際專利分類表中，本實用新型應(yīng)分為F部。

背景技術(shù)

目前，就分子泵葉片的種類而言，基本分為扭制和銑制二類。與銑制葉片相比，在相同直徑、角度和速度的條件下，扭制葉片缺少幾何變量，而且扇形葉面根部的強度較差。整體銑制葉片受加工刀具的限制也很難選擇最佳的幾何形狀，且加工成本相當(dāng)高。此外，為保證分子泵安全運行，泵的動葉片要與泵內(nèi)壁有一定的徑向間隙，與動葉片相間交錯排列的靜葉片的葉齒和葉齒間也有間隙，而由此形成的軸向通道容易導(dǎo)致氣體分子返流，從而難以達(dá)到所希望的理想真空。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于，針對已有技術(shù)的不足，提供結(jié)構(gòu)設(shè)計合理、強度高而使用壽命長的，具有提高抽速和壓縮比的，能夠抑制氣體分子軸向返流的一種分子泵。

本實用新型的目的是通過下述技術(shù)方案實現(xiàn)的：

所述的分子泵包括電機組件、動葉輪組件、靜葉片、電機主軸、泵殼、泵底盤和排氣口。主要特點在于：

所述的動葉輪組件直聯(lián)在所述的電機主軸上。

所述的動葉輪組件由動葉片串聯(lián)組成，并自上而下分別構(gòu)成抽氣級動葉片和壓縮級動葉片。

所述的動葉片與所述的靜葉片交錯排列。

所述的靜葉片的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形，其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于所述的動葉片的外徑。

所述的分子泵的末級葉片為靜葉片。

所述的靜葉片固定在所述的泵殼和泵底盤上。

所述的抽氣級動葉片的數(shù)量≥1級；所述的壓縮級動葉片的數(shù)量≥2級。

所述的抽氣級動葉片為楔形變截面葉齒的動葉片；所述的壓縮級動葉片為臺階式變截面葉齒的動葉片，所述的臺階式變截面葉齒的厚度由外向里逐級加厚。

所述的抽氣級動葉片的數(shù)量為3級；所述的壓縮級動葉片的數(shù)量為8級。

所述的臺階式變截面葉齒的臺階處為弧面或平面。

所述的臺階式變截面葉齒的臺階數(shù)量≥2。

所述的臺階數(shù)量等于3，由外向里其厚度分別為0.1cm、0.2cm、0.3cm。

所述的壓縮級動葉片為矩形葉齒的動葉片。

所述的矩形葉齒的動葉片的數(shù)量為10級。

由于本實用新型采用了上述的技術(shù)方案，本實用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計相當(dāng)合理，特別是有關(guān)抽氣級動葉片和壓縮級動葉片的設(shè)計，使其其強度和使用壽命大為提高，而且提高了抽速和壓縮比。另外，由于靜葉片的葉齒的內(nèi)、外端均為整體環(huán)形，其外環(huán)形內(nèi)徑小于或等于動葉片的外徑，使導(dǎo)致返流的軸向通道具有了截面，因為光學(xué)密封的作用成功地阻擋了氣體分子的軸向返流，提高了真空度和抽速。再者，由于所述分子泵的末級葉片為靜葉片，不僅打破了以往的成見，而且其效果更好。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本實用新型進行說明，其中：

附圖1為本實用新型一個實施例的進行了局部剖視的總裝配圖。

附圖2為本實用新型一個實施例的具有楔形變截面葉齒的動葉片結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖3為本實用新型一個實施例的具有臺階式變截面葉齒的動葉片結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖4為本實用新型一個實施例的具有矩形葉齒的動葉片結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖5為本實用新型一個實施例的靜葉片結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式