[實(shí)用新型]金屬光罩盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720125596.3
• 申請(qǐng)日: 2007-09-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201107547Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳建達(dá);邱銘乾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 家登精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;H01L21/673
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 周長(zhǎng)興

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型是有關(guān)于一種金屬光罩盒，特別是有關(guān)于一種金屬光罩盒零件的鎖固方式。

背景技術(shù)

近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical?Lithography)扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattern)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀可透光的光罩(photo?mask)。利用曝光原理，則光源通過(guò)光罩投影至硅晶圓(silicon?wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機(jī)物)都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn)生圖形的光罩必須保持絕對(duì)潔凈，其中SMIF系統(tǒng)的目的是為減少半導(dǎo)體工藝的儲(chǔ)存及運(yùn)送過(guò)程中所受的微粒過(guò)量。

如圖1A及圖1B所示，為一公知的一般光罩傳送盒1，其由上下蓋體11及12組合而成，其中在下蓋體12內(nèi)的兩側(cè)邊上設(shè)置兩相對(duì)的固持裝置121，此固持裝置121還包括一些限位片1211及抵持件1212配置其上。此外，在兩相對(duì)的固持裝置121的其中一相鄰側(cè)邊，則還配置一限制裝置122，使得下蓋體12由兩個(gè)固持裝置121及一個(gè)相鄰的限制裝置122形成一個(gè)近似”ㄇ”字型的結(jié)構(gòu)。因此當(dāng)一片光罩放入下蓋體12時(shí)，可由此”ㄇ”字型的結(jié)構(gòu)來(lái)形成固定及支撐光罩。當(dāng)光罩傳送盒1的上下蓋體11及12蓋合一光罩時(shí)，配置在固持裝置上的限位片1211及抵持件1212會(huì)支撐光罩的邊緣，但由于上下蓋體11、12蓋合時(shí)會(huì)有間隙產(chǎn)生，使得光罩在運(yùn)送的過(guò)程中會(huì)在未設(shè)有限制裝置的一側(cè)(亦即”ㄇ”型結(jié)構(gòu)的開(kāi)口)方向上產(chǎn)生位移。如此，不僅使得光罩接觸到固持裝置121與限制裝置122的地方產(chǎn)生磨損而降低的光罩的使用壽命，同時(shí)還會(huì)因?yàn)槟ゲ炼纬蓧m粒，進(jìn)而影響良率。

再者，由于公知金屬光罩盒多以高分子材質(zhì)所構(gòu)成，此種高分子材質(zhì)具有成型容易、價(jià)格低廉以及可形成透明體的優(yōu)點(diǎn)。此種絕緣電阻高的高分子材質(zhì)容易因?yàn)槟ゲ粱驌茈x而產(chǎn)生靜電，尤其是無(wú)塵室的作業(yè)環(huán)境需要保持較低濕度，使高分子材質(zhì)的金屬光罩盒非常容易產(chǎn)生與累積電荷。光罩表面的靜電容易吸引空氣中的污染微粒，更甚者還會(huì)造成光罩上的金屬線出現(xiàn)靜電放電(electrostatic?discharge，ESD)效應(yīng)。靜電放電所產(chǎn)生的瞬間電流會(huì)引起電花(spark)或電弧(arc)，在電花與電弧發(fā)生的同時(shí)，強(qiáng)大的電流伴隨著高溫，導(dǎo)致金屬線的氧化與溶解，因而改變了光罩的圖案。

然而，金屬材質(zhì)本身即具有彈性與延展性，且密度較高分子材質(zhì)高，因此用以制成金屬光罩盒時(shí)，若要達(dá)成輕量的要求，形成盒體的金屬板需要盡量輕薄，但是輕薄的金屬板材容易變形，因此類似重量的金屬光罩盒會(huì)較高分子材質(zhì)的金屬光罩盒易產(chǎn)生形變，而導(dǎo)致金屬光罩盒的損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決前述背景技術(shù)中的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種金屬光罩盒零件之鎖固方式。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，其包含：

一金屬上蓋體；

一金屬下蓋體，用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；

至少一零件，設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上；以及

至少一鎖固件，將該零件固設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上。

所述的金屬光罩盒，其中該鎖固件為一鉚釘。

所述的金屬光罩盒，其中該鎖固件為一螺絲。

所述的金屬光罩盒，其中該鎖固件由大致由金屬材料制成。

所述的金屬光罩盒，其中該零件為一接合機(jī)構(gòu)，設(shè)于該金屬光罩盒的一側(cè)邊上，用以連接該金屬上蓋體及該金屬下蓋體。

所述的金屬光罩盒，其中該零件為一鎖扣件，設(shè)于該金屬光罩盒的一側(cè)邊上，用以扣合該金屬上蓋體及該金屬下蓋體。

所述的金屬光罩盒，其中該鎖扣件為一高分子材料所形成。

所述的金屬光罩盒，其中該零件為一扣壓件。

所述的金屬光罩盒，其中該扣壓件設(shè)于該金屬上蓋體或金屬下蓋體內(nèi)的角落。

本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，還可以包含：

一金屬上蓋體；

一金屬下蓋體用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；

至少一扣壓件，設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體內(nèi)；以及

至少一鎖固件，將該扣壓件固設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上。

所述的金屬光罩盒，其中該扣壓件包括：

一座體，以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)固接于該金屬光罩盒的金屬上蓋體及金屬下蓋體內(nèi)各角落的位置；以及