[實用新型]金屬光罩盒

有效

• 申請號: 200720125596.3
• 申請日: 2007-09-29
• 公開（公告）號: CN201107547Y
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 陳建達;邱銘乾
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01L21/673
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 周長興

1.?一種金屬光罩盒，其特征在于，包含：

一金屬上蓋體；

一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩；

至少一零件，設于該金屬上蓋體或是下蓋體上；以及

至少一鎖固件，將該零件固設于該金屬上蓋體或是下蓋體上。

2.?如權利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件為一鉚釘。

3.?如權利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件為一螺絲。

4.?如權利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件大致由金屬材料制成。

5.?如權利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該零件為一接合機構，設于該金屬光罩盒的一側邊上，連接該金屬上蓋體及該金屬下蓋體。

6.?如權利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該零件為一鎖扣件，設于該金屬光罩盒的一側邊上，扣合該金屬上蓋體及該金屬下蓋體。

7.?如權利要求6所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖扣件為一高分子材料。

8.?如權利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該零件為一扣壓件。

9.?如權利要求8所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該扣壓件設于該金屬上蓋體或金屬下蓋體內的角落。

10.?一種金屬光罩盒，其特征在于，包含：

一金屬上蓋體；

一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩；

至少一扣壓件，設于該金屬上蓋體或是下蓋體內；以及

至少一鎖固件，將該扣壓件固設于該金屬上蓋體或是下蓋體上。

11.?如權利要求10所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該扣壓件包括：

一座體，以復數個支撐點固接于該金屬光罩盒的金屬上蓋體及金屬下蓋體內各角落的位置；以及

一彎曲彈性組件，其一彎曲的端部結合于該座體上，另一彎曲的端部則呈彈性懸浮狀態于該單或復數個支撐點之間，且進一步包括一頂持面及一扣壓面；

其中，當該金屬光罩盒承載一光罩且蓋合時，該彎曲彈性組件的該頂持面及該扣壓面與該光罩接觸并固定。

12.?一種金屬光罩盒，其特征在于，包含：

一金屬上蓋體，具有一大致平坦的底面；

一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內部空間可容納光罩，該金屬下蓋體亦具有一大致平坦的底面；以及

至少一補強結構設于該上蓋體或是下蓋體的底面。

13.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構設于該上蓋體或是下蓋體的角落。

14.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構設于該上蓋體或是下蓋體的中央部份。

15.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構是向內部空間凹入的結構。

16.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構是向外部空間凸出的結構。

17.?如權利要求15或16所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構具有一底面，而該上蓋體或下蓋體的底面與該補強結構的底面的落差為2-5mm。

18.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構與該上蓋體或是下蓋體一體成型。

19.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補強結構大致呈三角形。

20.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該金屬光罩盒至少包含一第一補強結構設于該上蓋體，一第二補強結構設于下蓋體大致對應于該第一補強結構的位置。

21.?如權利要求20所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該第一補強結構與該第二補強結構的大小不一。

22.?如權利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，另包含至少一扣壓件設于該補強結構上。

23.?如權利要求1、10或12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該金屬光罩盒的金屬材質大致為不銹鋼、鋁合金或鎂合金。