[實(shí)用新型]載盤的改良結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720125504.1
• 申請日: 2007-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN201142322Y
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉相賢;劉奎江;劉聰?shù)?/a>;江豐全
• 申請（專利權(quán)）人: 力鼎精密股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/683
• 分類號(hào): H01L21/683;C23C16/458;C23C14/50
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陳肖梅;謝麗娜

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種載盤的改良結(jié)構(gòu)，特別是有關(guān)于一種適用于晶圓制程，具有操作維護(hù)簡易、低成本、以及晶圓高冷卻效率的載盤的改良結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

一般而言，半導(dǎo)體制程如沉積或蝕刻等制程常造成晶圓處于高溫狀態(tài)，故晶圓散熱為晶圓載盤設(shè)計(jì)的重要考慮因素之一。如圖1所示的現(xiàn)有晶圓載盤10，其中包括上蓋11、導(dǎo)熱層12、封板13、真空隔熱件14、冷卻回路15、以及多個(gè)冷卻管路16。冷卻回路15設(shè)置于封板13與真空隔熱件14所圍成的封閉空間內(nèi)，冷卻流體(圖式未顯示)經(jīng)由多個(gè)冷卻管路16以連接冷卻回路15達(dá)到一連續(xù)冷卻流的效果。真空隔熱件14包括一真空隔熱區(qū)141，此真空隔熱區(qū)141借助多個(gè)接頭142(圖式僅顯示一接頭)以抽取真空隔熱區(qū)141內(nèi)的空氣，以達(dá)到隔熱以加強(qiáng)晶圓A的冷卻效果。然而，此裝置的設(shè)置與操作十分繁瑣，例如多個(gè)冷卻管路16需外接冷卻流體的饋送裝置外，還需配置抽氣機(jī)以控制真空隔熱區(qū)141內(nèi)中空氣密度。此外，導(dǎo)熱層12也會(huì)隨著熱漲冷縮的次數(shù)增加而降低熱傳導(dǎo)效果，導(dǎo)致增加維護(hù)成本、降低冷卻效率、與可能的操作失誤。

因此，提供一操作維護(hù)簡易、低成本、以及晶圓高冷卻效率的載盤，便成為晶圓制程的重要課題之一。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足與缺陷，提出一種載盤的改良結(jié)構(gòu)，特別是一種適用于晶圓制程，具有操作維護(hù)簡易、低成本、以及晶圓高冷卻效率的載盤的改良結(jié)構(gòu)。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種載盤的改良結(jié)構(gòu)，包括：一上蓋，具有一內(nèi)凹區(qū)與一螺旋狀凸肋組，該螺旋狀凸肋組設(shè)置于該內(nèi)凹區(qū)中；一下蓋，具有一頂面與一側(cè)面，該頂面連接于該螺旋狀凸肋組的多個(gè)凸肋頂部，而該側(cè)面連接于該內(nèi)凹區(qū)的一側(cè)壁；一冷卻流道，設(shè)置于該內(nèi)凹區(qū)、該螺旋狀凸肋組、與該頂面所圍成的封閉空間中；以及多個(gè)流道出入口，連接于該冷卻流道，而其中一冷卻流體經(jīng)由所述的流道出入口進(jìn)出該冷卻流道，以形成一連續(xù)冷卻流。

本實(shí)用新型具有以下有益技術(shù)效果：本實(shí)用新型適用于晶圓制程，具有操作維護(hù)簡易、低成本、以及晶圓高冷卻效率的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型中所敘述的載盤的改良結(jié)構(gòu)，可用于晶圓沉積與蝕刻等制程中。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有載盤示意圖；

圖2A為載盤的改良結(jié)構(gòu)的剖面圖；

圖2B為上蓋示意圖。

圖中符號(hào)說明

10??現(xiàn)有晶圓載盤?????11???上蓋

12??導(dǎo)熱層???????????13???封板

14??真空隔熱件???????141??真空隔熱區(qū)

142?多個(gè)接頭?????????15???冷卻回路

16??多個(gè)冷卻管路?????A????晶圓

20??載盤?????????????21???上蓋

211?內(nèi)凹區(qū)???????????2111?側(cè)壁

212?螺旋狀凸肋組?????2121?多個(gè)凸肋頂部

22??下蓋?????????????221?頂面

222?側(cè)面?????????????223?多個(gè)螺絲孔

23??冷卻流道?????????24??多個(gè)流道出口。

具體實(shí)施方式

以下以具體的實(shí)施例，對本實(shí)用新型揭示的各形態(tài)內(nèi)容加以詳細(xì)說明。

參照圖2A，圖2A為根據(jù)本實(shí)用新型所提供的一種載盤的改良結(jié)構(gòu)的剖面示意圖，其中包括一載盤20，此載盤20包括一上蓋21、一下蓋22、一冷卻流道23、以及多個(gè)流道出口24。上蓋21具有一內(nèi)凹區(qū)211與一螺旋狀凸肋組212(參考圖2B，其中螺旋狀凸肋組212環(huán)繞于內(nèi)凹區(qū)211內(nèi)成一環(huán)狀螺旋狀的幾何外形)。下蓋22具有一頂面221與一側(cè)面222，此頂面221連接于螺旋狀凸肋組212的多個(gè)凸肋頂部2121，而側(cè)面222連接于內(nèi)凹區(qū)211的一側(cè)壁2111。冷卻流道23設(shè)置于內(nèi)凹區(qū)211、螺旋狀凸肋組212、與頂面221所圍成的封閉空間中。多個(gè)流道出入口24，連接于冷卻流道23，而其中一冷卻流體(圖式未顯示)經(jīng)由多個(gè)流道出入口24進(jìn)出冷卻流道23以形成一連續(xù)冷卻流。