[實(shí)用新型]載盤(pán)的改良結(jié)構(gòu)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720125504.1
• 申請(qǐng)日: 2007-08-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201142322Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉相賢;劉奎江;劉聰?shù)?/a>;江豐全
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 力鼎精密股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/683
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/683;C23C16/458;C23C14/50
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 陳肖梅;謝麗娜

1.一種載盤(pán)的改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

一上蓋，具有一內(nèi)凹區(qū)與一螺旋狀凸肋組，該螺旋狀凸肋組設(shè)置于該內(nèi)凹區(qū)中；

一下蓋，具有一頂面與一側(cè)面，該頂面連接于該螺旋狀凸肋組的多個(gè)凸肋頂部，而該側(cè)面連接于該內(nèi)凹區(qū)的一側(cè)壁；

一冷卻流道，設(shè)置于該內(nèi)凹區(qū)、該螺旋狀凸肋組、與該頂面所圍成的封閉空間中；以及

多個(gè)流道出入口，連接于該冷卻流道，而其中一冷卻流體經(jīng)由所述的流道出入口進(jìn)出該冷卻流道，以形成一連續(xù)冷卻流。

2.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該下蓋為鋁合金或不銹鋼所制成。

3.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該上蓋為鋁合金或不銹鋼所制成。

4.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該頂面熱連接于所述的凸肋頂部。

5.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該側(cè)面具有一密封層，而該密封層設(shè)置于該側(cè)面與該內(nèi)凹區(qū)之間。

6.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該冷卻流體為去離子水或具冷卻效果的流體。

7.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述的流道出入口連接于該下蓋。

8.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該載盤(pán)上承載一晶圓，而該冷卻流體冷卻該晶圓。

9.如權(quán)利要求1所述的載盤(pán)改良結(jié)構(gòu)，其特征在于，該螺旋狀凸肋組具有螺旋狀的幾何外形。