[實用新型]用于集成電路測試的裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720118476.0 | 申請日： | 2007-02-09 |
| 公開（公告）號： | CN201021933Y | 公開（公告）日： | 2008-02-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 段超毅;王國華;陶杉 | 申請（專利權(quán)）人： | 段超毅;王國華;陶杉 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;G01R1/073 |
| 代理公司： | 深圳市睿智專利事務(wù)所 | 代理人： | 陳鴻蔭 |
| 地址： | 518101廣東省深*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 集成電路 測試 裝置 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及半導(dǎo)體器件的電性能測試或故障探測儀器，特別是涉及用于測試集成電路的裝置。
背景技術(shù)
隨著SMT，即Surface?Mount?Technology，表面貼裝技術(shù)的發(fā)展，半導(dǎo)體集成電路(簡稱IC)特別是采用球柵陣列Ball?Grid?Array，簡稱BGA，即封裝的輸入/輸出(I/O)引腳的排列方式是柵格陣列，并且引腳端部為錫球的IC朝高密度、小間距方向發(fā)展，封裝的輸入/輸出引腳從幾十根，逐漸增加到幾百根，不久的將來可能達2千根。相應(yīng)地，對集成電路測試要求會越來越高。現(xiàn)有技術(shù)中能滿足高密度、小間距的IC測試要求的探針有兩種，一種如圖1所示，其由管身a、兩針尖部分b和管身內(nèi)彈簧組成，要保證探針的兩個針尖部分b能夠沿管身a內(nèi)壁平行滑動自如，同時要保證其使用壽命在50萬次以上，在管身a外徑很小的情況下，探針的加工技術(shù)難度和設(shè)備要求非常高、且良品率低。比如測試集成電路導(dǎo)電點腳距為0.5mm的探針，管身外徑只有φ0.35mm，針尖截面直徑只有φ0.17mm左右，加工公差必須控制在0.01mm以內(nèi)，一般高精度的自動機床都不能達到工藝要求。而且，工藝參數(shù)稍有不合理就會造成產(chǎn)品報廢，裝配公差也必須控制在0.003mm以下，因而成本極高。另一種如圖2所示，其由一端帶有一個固定針尖的管身d、活動的針尖e和管身d內(nèi)的彈簧組成，由于裝彈簧的管身d一端帶針尖，另一端的內(nèi)孔裝彈簧，整體必須采用車削加工，所以成本也相當(dāng)高。成本高的原因，其一是這類產(chǎn)品按現(xiàn)有的工藝，加工精度、裝配精度要求高，其二是生產(chǎn)這類探針?biāo)璧脑O(shè)備要求很高，機器昂貴，一條生產(chǎn)線都要1000多萬元人民幣，所以設(shè)備成本極高。以上兩種雙頭探針目前國際上只有幾家公司能做。另外，用上述兩種探針做成的測試結(jié)構(gòu)如果出現(xiàn)質(zhì)量問題需要更換某根探針時，必須拆開整個結(jié)構(gòu)才能更換，維修不方便。
發(fā)明內(nèi)容
本實用新型要解決的技術(shù)問題在于避免上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處而提出一種用于測試集成電路的裝置，該裝置不但成本極低，而且可以用于測試小間距的集成電路。
本實用新型解決所述技術(shù)問題可以通過采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)：
設(shè)計、使用一種用于集成電路測試的裝置，包括壓緊部件、探針定位板和探針，該探針定位板上有與被測集成電路各導(dǎo)電點之間腳距相同的通孔，該各探針穿越所述探針定位板上的通孔；所述探針為螺圈彈簧，所述各彈簧的上端與被測集成電路電連接，下端與測試印刷電路板電連接。
或者，所述各探針由觸針和螺圈彈簧組成，所述觸針一端設(shè)置有頭形，與被測集成電路或者測試印刷電路板電連接，該觸針的另一端與彈簧一端接觸；相應(yīng)地，所述彈簧另一端與測試印刷電路板或者被測集成電路電連接。
同現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實用新型的技術(shù)效果在于：所用探針由觸針和螺圈彈簧組成，或由單一螺圈彈簧組成，結(jié)構(gòu)簡單，可以做得很小、很短，不僅成本極低，而且可以用于測試小間距的集成電路。
附圖說明
圖1是現(xiàn)有技術(shù)中用于測試集成電路的裝置所用第一種雙頭探針示意圖；
圖2是現(xiàn)有技術(shù)中用于測試集成電路的裝置所用第二種雙頭探針示意圖；
圖3是本實用新型用于測試集成電路的裝置實施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是本實用新型實施例一所用探針的示意圖；
圖5是圖4的A部放大示意圖；
圖6是本實用新型實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖7是本實用新型實施例二所用探針的示意圖；
圖8是本實用新型實施例三的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖9是本實用新型實施例三所用探針的示意圖；
圖10是所述實施例三的觸針示意圖；
圖11是本實用新型實施例四的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖12是本實用新型實施例五的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖13是本實用新型實施例六的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖14是本實用新型實施例七的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖15是本實用新型實施例七所用探針的示意圖；
圖16是所述實施例七的觸針示意圖；
圖17是本實用新型實施例八的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖所示之最佳實施例作進一步詳述。
實施例一：
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