[實用新型]晶圓凸點制造掛具

有效

• 申請號: 200720102413.6
• 申請日: 2007-08-29
• 公開（公告）號: CN201116311Y
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 歐萌;景璀;張蕾;魏紅軍;楊振
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第二研究所
• 主分類號: C25D7/12
• 分類號: C25D7/12;C25D17/08
• 代理公司: 山西科貝律師事務所
• 代理人: 陳奇

1、一種晶圓凸點制造掛具，包括掛具主體板(10)、在主體板(10)的上方固定設置的把手(14)及把手上方的固定塊(13)，其特征在于，在所述的主體板(10)和把手(14)上固定設置有導電板(12)，在掛具主體板(10)的前面板的中部固定設置有一圓形導電盤(8)，導電板(12)與導電盤(8)固定連接，在導電盤周圍的主體板(10)上嵌套有金屬羅紋套(9)，法蘭(2)通過緊固塑料螺釘(1)和金屬羅紋套(9)將晶圓片固定在掛具主體板(10)上的導電盤(8)上，在法蘭(2)的外圈與主體板(10)之間設置有密封圈(3)，在法蘭(2)的內圈與導電盤(8)之間設置有密封圈(4)。

2、根據權利要求1所述的一種晶圓凸點制造掛具，其特征在于，所述的導電盤(8)上設置有晶圓平面定位臺階。

3、根據權利要求1或2所述的一種晶圓凸點制造掛具，其特征在于，所述的導電盤(8)上設置有導電彈片(6)，該導電彈片(6)的一端由螺釘(5)固定在導電盤(8)上，另一端彈性壓緊在晶圓片上。