[實用新型]一種晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具

有效

• 申請號: 200720073816.2
• 申請日: 2007-08-20
• 公開（公告）號: CN201096669Y
• 公開（公告）日: 2008-08-06
• 發明（設計）人: 肖建軍;宋碧波;張士仁;呂秋玲
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28;G01N23/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅

1、一種晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，該晶圓邊緣具有一預設角度范圍的導角，其特征在于，該治具包括一放置晶圓的本體、一罩設在本體頂部的罩體和一設置在罩體頂部用于供制樣者向晶圓正面噴灑制樣溶液或水的進樣噴頭，該本體為第一和第二平面截一倒立椎面所得，該錐面的錐角等于晶圓的導角，該第一和第二平面與錐線所成的角分別為一直角和一預設銳角，該第一和第二平面在倒立錐面上形成了第一截圓和第二截圓，該第二截圓為直接與操作臺接觸的橢圓且其低于第一截圓，該晶圓的直徑大于第二截圓的短軸且小于第一截圓的直徑，該本體在放置晶圓且距操作臺最近的位置上設置有一供溶液從晶圓邊緣流出本體的開口。

2、如權利要求1所述的晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，其特征在于，該制備治具還包括用于收集從開口流出本體的溶液的收集器皿，該收集器皿放置在本體外溶液恰從開口流出的位置。

3、如權利要求1所述的晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，其特征在于，該導角的預設角度范圍為20至22度。

4、如權利要求1所述的晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，其特征在于，該預設銳角為75度。

5、如權利要求1所述的晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，其特征在于，該污染物為金屬污染物。

6、如權利要求1或5所述的晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，其特征在于，該制樣溶液為氫氟酸、硝酸和雙氧水的混合溶液。

7、如權利要求1所述的晶圓正面污染物的檢測樣品制備治具，其特征在于，該晶圓放置在本體中時，該晶圓正面朝上。