[實用新型]化學機械研磨機臺排放管

有效

• 申請號: 200720073532.3
• 申請日: 2007-08-09
• 公開（公告）號: CN201105409Y
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 任國偉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B29/00;B24B57/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種化學機械研磨機臺排放管。

背景技術

集成電路制程中，化學機械研磨(CMP)機臺內通常包含反應發生前引入的反應氣體及反應后形成的反應副產物，所述反應副產物包含廢氣及廢液。實踐中，反應完成后，所述反應副產物需進行廢氣及廢液處理，處理后的廢氣及廢液方可排放至外界。在進行廢氣及廢液處理之前，所述反應副產物需經由排放管由CMP機臺排出。

當前，對于CMP機臺，如圖1所示，所述排放管與化學機械研磨機臺20相連，所述排放管包含主排放管30、排液管50及排氣管40；所述主排放管30包括引入端32、液輸出端36和氣輸出端34，所述引入端32與化學機械研磨機臺20相連；所述液輸出端36與所述排液管50相連；所述氣輸出端34位于所述引入端32和所述液輸出端36之間；所述氣輸出端34與所述排氣管40相連。實踐中，執行CMP操作后排放的廢液經由主排放管30由排液管50排放；執行CMP操作后排放的廢氣經由主排放管30由排氣管40排放。

然而，如圖2所示，實際生產發現，所述排氣管40內易形成沉積物，所述沉積物易在所述排氣管內形成腐蝕區42，為保證排氣管以及化學機械研磨機臺的正常工作，需對排氣管做定期更換，降低了化學機械研磨機臺的使用效率。如何減少所述排氣管內沉積物的形成，以減少所述排氣管內腐蝕區的形成，并延長所述排氣管的使用壽命成為本領域技術人員亟待解決的問題。

2005年10月19日公開的公告號為“CN1223703C”的中國專利中提供了一種具有反應副產物沉積防止裝置的排氣管和沉積防止方法，提供的排氣管，具有防止包含在從反應真空室等排氣用排氣管中的物質在排氣管內表面上沉積堆積的效果。如圖3所示，所述排氣管10包含：有排放通路14的內筒11、在其外側存在空隙15而設置的外筒12、和附接到內筒11上的加熱裝置13，空隙15和上述排放通路10’連通。在排氣時，不僅排放通路10’變成真空狀態而且空隙15也變成真空狀態，可抑制從加熱裝置向外部放熱，可有效加熱內筒11至高溫，從而可防止包含在排氣中的物質沉積堆積在內筒11的內表面上。該方法強調了內筒11需維持高溫狀態，以防止排氣中的反應副產物凍結堆積在內筒11內表面。但是，在有廢液存在的條件下，內筒具有的高溫易造成廢液在所述內筒內表面的固化，仍利于造成排氣管內沉積物的堆積。

2006年8月23日公開的公開號為“CN1821441”的中國專利申請中提供了一種具有反應副產物沉積防止裝置的排氣管和沉積防止方法，提供的排氣管，具有防止包含在從反應真空室等排氣用排氣管中的物質在排氣管內表面上沉積堆積的效果。所述排氣管包括：在內部有排放通路的內筒，設置在該內筒外側的外筒；在內筒和外筒之間形成的密閉空間；以及在外筒中設置的用于將液氮等極低溫冷卻介質導入上述密封空間以形成凍結膜的冷卻介質導入口。顯然，此液氮等極低溫冷卻介質僅為將反應副產物形成凍結膜，以在后續步驟中通過整體去除所述凍結膜而減少反應副產物對排氣管造成的污染。而如何去除所述凍結膜還需采用附加的工藝，程序復雜。

實用新型內容

本實用新型提供了一種化學機械研磨機臺排放管，可減少所述排放管中包含的所述排氣管內沉積物的產生，進而可減少所述排氣管內腐蝕區的形成，并延長所述排氣管的使用壽命。

本實用新型提供的一種化學機械研磨機臺排放管，包含主排放管、排液管及排氣管；所述主排放管包含具有排放通路的內筒和連接于內筒且與內筒間具有空隙的外筒，所述空隙與所述排放通路連通；所述排液管及排氣管分別連接于所述外筒。

可選地，所述內筒還包括引入端和第一液輸出端，所述內筒通過所述引入端與化學機械研磨機臺相連，所述第一液輸出端與所述空隙連通；可選地，所述外筒還包括連接端、第二液輸出端和氣輸出端，所述外筒通過所述連接端與所述內筒相連，所述第二液輸出端位于所述外筒的底部或所述外筒的側壁的底部，所述第二液輸出端與所述排液管相連；可選地，所述氣輸出端位于所述連接端和所述第二液輸出端之間，所述氣輸出端與所述排氣管相連；可選地，所述內筒上具有冷卻裝置；可選地，所述內筒與所述外筒間傳熱連接；可選地，所述外筒上具有冷卻裝置；可選地，所述冷卻裝置中以液氮作為冷卻介質；可選地，所述排氣管外具有加熱裝置；可選地，所述加熱裝置為利用電加熱的加熱器或利用有加熱的加熱器。

與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：