[實用新型]化學機械研磨機臺排放管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720073532.3
• 申請日: 2007-08-09
• 公開（公告）號: CN201105409Y
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發(fā)明（設計）人: 任國偉
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B29/00;B24B57/00;H01L21/304
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種化學機械研磨機臺排放管，包含主排放管、排液管及排氣管；其特征在于：所述主排放管包含具有排放通路的內筒和連接于內筒且與內筒間具有空隙的外筒，所述空隙與所述排放通路連通；所述排液管及排氣管分別連接于所述外筒。

2.根據權利要求1所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述內筒還包括引入端和第一液輸出端，所述內筒通過所述引入端與化學機械研磨機臺相連，所述第一液輸出端與所述空隙連通。

3.根據權利要求1或2所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述外筒還包括連接端、第二液輸出端和氣輸出端，所述外筒通過所述連接端與所述內筒相連，所述第二液輸出端位于所述外筒的底部或所述外筒的側壁的底部，所述第二液輸出端與所述排液管相連；所述氣輸出端位于所述連接端和所述第二液輸出端之間，所述氣輸出端與所述排氣管相連。

4.根據權利要求1所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述內筒上具有冷卻裝置。

5.根據權利要求1所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述內筒與所述外筒間傳熱連接。

6.根據權利要求1所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述外筒上具有冷卻裝置。

7.根據權利要求4或6所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述冷卻裝置中以液氮作為冷卻介質。

8.根據權利要求1所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述排氣管外具有加熱裝置。

9.根據權利要求8所述的化學機械研磨機臺排放管，其特征在于：所述加熱裝置為利用電加熱的加熱器或利用有加熱的加熱器。