[實用新型]一種改進型化學機械研磨液容器

有效

• 申請號: 200720071947.7
• 申請日: 2007-06-29
• 公開（公告）號: CN201077028Y
• 公開（公告）日: 2008-06-25
• 發明（設計）人: 陳肖科
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型涉及一種容器，具體的說，是一種存放化學機械研磨液的容器。

背景技術

在微電子領域，晶圓的研磨是一個不可缺少的生產環節。化學機械研磨液是晶圓研磨必須使用的研磨液。研磨液是一種混合液，由多種化學元素根據合理比例混合而成。研磨液裝在化學機械研磨容器中。現有化學機械研磨液容器如附圖1所示，它包括：容器本體13，設置于容器本體13下部并且和容器本體13相連的出液管道12，設置于容器本體13上部并且深入容器本體13內部的直插式入液管道11。使用時通過水泵15將研磨液14從出液管道12泵出，使用好以后研磨液14再通過入液管道11回到容器本體13中，重復使用。

當研磨液14在化學機械研磨容器本體13中存放或使用時間久時，由于研磨液14流動性差，研磨液14中的化學元素會從研磨液14中析出，在容器本體13的內壁上形成結晶顆粒，使研磨液14中的化學元素組成比例失調，并且結晶顆粒會使晶圓表面劃傷，影響產品質量。這就要求容器13要經常用去離子水清洗，把容器本體13內壁上的結晶顆粒去處干凈，整個放凈舊研磨液14，清洗，配置新研磨液14的過程需要4.5小時，影響生產效率。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是，改變目前研磨液在容器本體內壁上易形成結晶顆粒，使研磨液中的化學元素組成比例失調，并且結晶顆粒會使晶圓表面劃傷，影響產品質量的問題。

為了解決上述技術問題，本發明采用了如下技術手段：一種改進型化學機械研磨液容器，它包括：容器本體，設置于容器本體下部并且和容器本體相連的出液管道，設置于容器本體上部并且深入容器本體內部的入液管道，其改進點在于：所述的在容器本體內部的這部分入液管道為環形結構，并且在這部分環形結構入液管道上設置有若干朝向容器本體內壁的噴口。

在上述的改進型化學機械研磨液容器中，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道高于容器本體中液面。

在上述的改進型化學機械研磨液容器中，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道和容器本體橫截面平行。

在上述的改進型化學機械研磨液容器中，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道為圓型。

在上述的改進型化學機械研磨液容器中，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道為方型。

在上述的改進型化學機械研磨液容器中，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道為不規則多邊型。

本實用新型的改進型化學機械研磨液容器由于采用了上述技術方案，使之與現有技術相比，具有以下優點和積極效果：將原先的直插式入液管道改進為在容器本體內部環形結構的入液管道與容器本體橫截面平行的結構，在該環形結構入液管道上設置有若干朝向容器本體內壁的噴口并且該環形結構入液管道高于容器本體中液面，當使用后的研磨液流回容器本體中時，通過朝向研磨池內壁的噴口噴向研磨池內壁，使內壁保持濕潤，并且使緊貼內壁的研磨液保持較高的流動性，不易使研磨液在內壁形成結晶顆粒，保證了研磨質量，減少了清洗化學機械研磨容器的次數，提高了生產效率。

附圖說明

本實用新型的改進型化學機械研磨液容器由以下的實施例及附圖給出。

圖1為現有化學機械研磨液容器結構示意圖。

圖2為本實用新型化學機械研磨液容器一種具體實施例結構示意圖。

圖3為本實用新型化學機械研磨液容器本體內部環形結構入液管道及噴口結構示意圖。

具體實施方式

以下將結合附圖對本實用新型化學機械研磨液容器作進一步的詳細描述，具體為以下實施方式：

如圖2所示，本實用新型化學機械研磨液容器包括：容器本體23，設置于容器本體23下部并且和容器本體23相連的出液管道22，設置于容器本體23上部并且在容器本體23內部一段為環狀結構的入液管道21，在容器本體23內部一段為環狀結構的入液管道21高于容器本體23中研磨液24的液面，該環狀結構入液管道21和容器本體23的橫截面平行，在該環形結構入液管道21上設置有若干朝向容器本體23內壁的噴口26，噴口26的數量設置以保證容器本體23的內壁四周都能得到噴口26噴出的研磨液24為標準。使用時通過水泵25將研磨液24從出液管道22泵出，當使用后的研磨液24流回容器本體23中時，通過朝向容器本體23內壁的噴口26噴向容器23內壁，使內壁保持濕潤，且使緊貼內壁的研磨液保持較高的流動性，不易使研磨液在內壁形成結晶顆粒，從而減少清洗化學機械研磨池的次數，提高了生產效率，保證了研磨質量。