[實用新型]一種改進型化學機械研磨液容器有效
| 申請號： | 200720071947.7 | 申請日： | 2007-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN201077028Y | 公開（公告）日： | 2008-06-25 |
| 發明（設計）人： | 陳肖科 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B57/02 | 分類號： | B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 改進型 化學 機械 研磨 容器 | ||
【權利要求書】：
1.一種改進型化學機械研磨液容器，它包括：容器本體，設置于容器本體下部并且和容器本體相連的出液管道，設置于容器本體上部并且深入容器本體內部的入液管道，其特征在于：所述的在容器本體內部的這部分入液管道為環形結構，并且在這部分環形結構入液管道上設置有若干朝向容器本體內壁的噴口。
2.根據權利要求1所述的改進型化學機械研磨液容器，其特征在于，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道高于容器本體中液面。
3.根據權利要求1所述的改進型化學機械研磨液容器，其特征在于，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道和容器本體橫截面平行。
4.根據權利要求1所述的改進型化學機械研磨液容器，其特征在于，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道為圓型。
5.根據權利要求1所述的改進型化學機械研磨液容器，其特征在于，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道為方型。
6.根據權利要求1所述的改進型化學機械研磨液容器，其特征在于，所述的在容器本體內部的這部分環形結構入液管道為不規則多邊型。
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