[實(shí)用新型]存放晶圓的傳送盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720071922.7
• 申請(qǐng)日: 2007-06-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201112362Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許端格;劉佩宜
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/673
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/673;B65D25/28
• 代理公司: 上海智信專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)中的存儲(chǔ)裝置，具體地說(shuō)，涉及一種存放晶圓的傳送盒。

背景技術(shù)

在晶圓制造工廠內(nèi)，傳送盒是主要的晶圓存放設(shè)備，比較常用的是FOUPS(Front?Opening?Unified?Pods，前開(kāi)式傳送盒)。傳送盒兩側(cè)壁上安裝有搬運(yùn)手柄，工作人員依靠該手柄將傳送盒搬到運(yùn)輸車(chē)(cart)或者存貨架(stocker)或者自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)上。現(xiàn)有搬運(yùn)手柄的安裝角度是固定的，傾斜的角度以傳送盒位于工作人員腰部位置，工作人員的手腕最為舒適的角度為準(zhǔn)，一般是偏移豎直平面20度左右，如圖1a中所示的位置。圖1b、圖1c分別為傳送盒1′低于腰部位置和高于腰部位置搬運(yùn)狀態(tài)示意圖。由于手柄2′的傾斜角度是固定的，所以，當(dāng)傳送盒位于圖1b、圖1c所示位置時(shí)，就會(huì)手臂和肩膀肌肉處于不舒適的狀態(tài)，為了使手臂和肩膀處于比較舒適的位置，工作人員就會(huì)選擇讓手腕處于不順手的角度，以減小對(duì)手臂和肩膀的負(fù)擔(dān)。在搬運(yùn)過(guò)程中，工作人員為避免身體某一部分負(fù)擔(dān)過(guò)重，就會(huì)不斷輪流選擇不舒適的部位如手臂或者肩膀或者手腕。如果長(zhǎng)期從事此類(lèi)工作，會(huì)嚴(yán)重影響工作人員的身體健康。

有鑒于此，需要提供一種新的傳送盒以改善上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種方便搬運(yùn)又可以保護(hù)工作人員身體健康的傳送盒。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種存放晶圓的傳送盒，該傳送盒兩側(cè)壁上安裝有活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)，其具有樞轉(zhuǎn)連接于傳送盒側(cè)壁上的旋轉(zhuǎn)盤(pán)以及供工作人員搬運(yùn)時(shí)握住的手柄，所述活動(dòng)式手柄固定于該旋轉(zhuǎn)盤(pán)上。進(jìn)一步地，所述手柄機(jī)構(gòu)包括固定于傳送盒側(cè)壁上的扣持件，轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤(pán)，所述扣持件與旋轉(zhuǎn)盤(pán)的不同位置配合，將手柄固定于不同的傾斜角度，進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)包括齒形部以及位于齒形部之間的數(shù)個(gè)凹槽，扣持件通過(guò)與不同位置的凹槽配合將手柄固定在不同的傾斜角度。

所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)還設(shè)有限位部，所述扣持件兩側(cè)安裝有阻擋部，該阻擋部通過(guò)與對(duì)應(yīng)的限位部配合將旋轉(zhuǎn)盤(pán)限制在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。

所述活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)還可以包括固定于傳送盒的側(cè)壁上的基體，所述扣持件和阻擋部均設(shè)于該基體上，所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)樞接于該基體上。

所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)范圍為80度。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用本實(shí)用新型搬運(yùn)時(shí)可以根據(jù)傳送盒的搬運(yùn)高度通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤(pán)調(diào)整手柄的角度，從而使工作人員的手腕始終處于比較舒適的位置，這樣不僅方便搬運(yùn)而且還較好地保護(hù)了工作人員的身體健康。

附圖說(shuō)明

圖1a、1b、1c為搬運(yùn)現(xiàn)有傳送盒時(shí)，傳送盒位于不同高度位置時(shí)的示意圖。

圖2a、2b、2c為搬運(yùn)本實(shí)用新型傳送盒時(shí)，傳送盒位于不同高度位置時(shí)的示意圖。

圖3a、3b、3c為活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)的手柄位于不同角度的示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行描述，以進(jìn)一步理解其實(shí)用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。

請(qǐng)參閱圖2a、2b、2c，本實(shí)用新型公開(kāi)一種傳送盒1，其兩側(cè)壁上分別安裝有活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)2。該活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)2具有可供工作人員握住的手柄220，該手柄220可根據(jù)傳送盒1的搬運(yùn)的高度位置，在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，使無(wú)論傳送盒在任何搬運(yùn)高度時(shí)，工作人員的手腕、手臂、肩膀都在一個(gè)比較舒適的位置。

請(qǐng)參閱圖3a、3b、3c，本實(shí)施例中的活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)2是永久性固定于傳送盒1(見(jiàn)圖2a)側(cè)壁上的，當(dāng)然該活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)2也可以通過(guò)螺絲以及其他輔助元件固定的。該活動(dòng)式手柄機(jī)構(gòu)2包括固定于傳送盒側(cè)壁的基體21以及活動(dòng)連接于基體21上的旋轉(zhuǎn)盤(pán)22，該旋轉(zhuǎn)盤(pán)22可以相對(duì)基體21作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。所述旋轉(zhuǎn)盤(pán)22包括上述手柄220、齒形部223、齒形之間的凹槽部224以及位于所述齒形部223和凹槽部224外側(cè)的限位部221、222。所述基體21上設(shè)有可阻擋旋轉(zhuǎn)盤(pán)22過(guò)分旋轉(zhuǎn)的阻擋部211、212以及與旋轉(zhuǎn)盤(pán)22的凹槽部224相配合的扣持件213。