[實用新型]帶吸氣劑的濺射離子復合泵

有效

• 申請號: 200720070902.8
• 申請日: 2007-06-11
• 公開（公告）號: CN201092948Y
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 鄭主安
• 申請（專利權）人: 上海三井真空設備有限公司
• 主分類號: F04B37/04
• 分類號: F04B37/04
• 代理公司: 上海天協和誠知識產權代理事務所
• 代理人: 張恒康

技術領域

本實用新型涉及一種獲得清潔超高真空的真空泵，尤其涉及一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵。

背景技術

目前獲得清潔超高真空的真空泵一般有濺射離子泵和非蒸散吸氣劑泵。濺射離子泵的抽氣機理是在強磁場和強電場作用下氣體電離，正離子猛烈轟擊陰極鈦板，濺射出吸氣材料鈦，鈦淀積在陽極內壁和陰極板上，形成抽氣鈦膜與活性氣體發生化學作用生成化合物，同時覆蓋掩埋惰性氣體，達到抽除氣體的目的；基于濺射離子泵的工作原理，泵內必須有強磁場和強電場，磁鐵和導磁鐵的重量占泵總重量的70％，使泵體十分笨重，一臺抽速300升/秒的離子泵重達69公斤，抽速質量比過小，一定程度上限制了濺射離子泵的應用范圍；而非蒸散吸氣劑泵具有結構簡單、體積小、重量輕、造價低、操作安全可靠、維修方便、清潔無油等優點。特別適用于抽除氫氣。對氫抽速500升/秒的非蒸散吸氣劑泵只有300克重。非蒸散吸氣劑泵的抽氣機理是將鋯基合金粉末涂敷在金屬帶上制成鋯基合金粉末吸氣帶，工作時將合金粉末吸氣帶加熱到400℃左右，就能穩定地抽除活性氣體，既合金對活性氣體的化學吸附；基于非蒸散吸氣劑泵的工作原理，現有非蒸散吸氣劑泵不能抽除惰性氣體，且激活溫度在400℃以上，必須配備加熱裝置，包括電源，電流引入電極和溫度計等。因此濺射離子泵抽速質量比小，泵體十分笨重；而非蒸散吸氣劑泵不能抽除惰性氣體，且激活溫度較高。

發明內容

本實用新型所要解決的技術問題是提供一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，其真空度高，體積小，重量輕，抽速質量比高，能抽除惰性氣體。

為解決上述技術問題，本實用新型帶吸氣劑的濺射離子復合泵包括箱體、箱體內安裝有濺射離子泵，同時在箱體內還設置了以固定形式放置的吸氣劑，并放置在箱體內與濺射離子泵相對的另一側；吸氣劑為鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板；該薄板在箱體內有若干片成折摺平行排列，且薄板橫截面成開口矩形、開口梯形或圓弧形狀。

由于本實用新型的帶吸氣劑的濺射離子復合泵采用了特殊的吸氣劑材料，其激活溫度低，約為150℃，與超高真空烘烤除氣溫度相當，不必配備加熱裝置，吸氣劑金屬薄板制成合理的形狀與離子泵有機結合，因此本實用新型帶吸氣劑的濺射離子復合泵抽氫能力提高，故極限真空度大大提高，抽速質量比也獲得了很大提高。

附圖說明

下面結合附圖和實施方式對本實用新型作進一步的詳細說明：

圖1為本實用新型帶吸氣劑的濺射離子復合泵的結構示意圖

具體實施方式

圖1為本實用新型帶吸氣劑的濺射離子復合泵的結構示意圖，其包括箱體1、箱體1內安裝有濺射離子泵2，同時在箱體1內還設置了以固定形式放置的吸氣劑3；吸氣劑3由鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板組成，在箱體1內吸氣劑3安放在與濺射離子泵2相對的另一側，該吸氣劑金屬薄板在箱體內有四片平行排列，根據泵的具體技術數據，金屬薄板的數量可有增減，可將金屬薄板成折摺地平行排列，且金屬薄板橫截面也可成開口矩形、開口梯形或圓弧形狀。

由于采用了鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板為吸氣劑材料，其激活溫度低，并制成合理的形狀與離子泵有機結合，故本帶吸氣劑的濺射離子復合泵極限真空度高，抽速質量比大。