[實用新型]帶吸氣劑的濺射離子復合泵有效
| 申請號： | 200720070902.8 | 申請日： | 2007-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN201092948Y | 公開（公告）日： | 2008-07-30 |
| 發明（設計）人： | 鄭主安 | 申請（專利權）人： | 上海三井真空設備有限公司 |
| 主分類號： | F04B37/04 | 分類號： | F04B37/04 |
| 代理公司： | 上海天協和誠知識產權代理事務所 | 代理人： | 張恒康 |
| 地址： | 201708上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 吸氣 濺射 離子 復合 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，包括箱體、所述箱體內的濺射離子泵，其特征在于：在所述箱體內還設置有固定形式放置的吸氣劑。
2.根據權利要求1所述的一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，其特征在于：所述的吸氣劑為鍍有鋯、釩、鈦合金的金屬薄板。
3.根據權利要求1所述的一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，其特征在于：所述的吸氣劑金屬薄板安放在箱體內與濺射離子泵相對的另一側。
4.根據權利要求1、2或3所述的一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，其特征在于：所述的吸氣劑金屬薄板成折摺平行排列。
5.根據權利要求1、2或3所述的一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，其特征在于：所述的吸氣劑金屬薄板橫截面成開口矩形或梯形形狀。
6.根據權利要求1、2或3所述的一種帶吸氣劑的濺射離子復合泵，其特征在于：所述的吸氣劑金屬薄板橫截面成圓弧形狀。
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