[實(shí)用新型]一種原料供給裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720070765.8
• 申請(qǐng)日: 2007-06-08
• 公開（公告）號(hào): CN201049440Y
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳肖科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): B24B55/00
• 分類號(hào): B24B55/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及化學(xué)機(jī)械研磨的晶片清洗，尤其涉及一種原料供給裝置。

背景技術(shù)

如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中，與清洗裝置3相連接的原料供給裝置5包括兩條并連的管路，一條管路是供應(yīng)化學(xué)品的管路，該管路上設(shè)置一個(gè)調(diào)節(jié)鈕11和與調(diào)節(jié)鈕11串聯(lián)的浮標(biāo)式流量器13；另一條管路是供應(yīng)去離子水的管路，該管路上設(shè)置一個(gè)調(diào)節(jié)鈕21和與調(diào)節(jié)鈕21串聯(lián)的浮標(biāo)式流量器23。這兩條管路提供的化學(xué)品和去離子水共同匯入一條管路，并連接到清洗裝置3。

調(diào)節(jié)鈕11和21分別用于控制管路原料的流量，浮標(biāo)式流量器13和23分別用于顯示對(duì)應(yīng)管路的原料流量的刻度。然而，由于在實(shí)際操作中，該原理供給裝置的位置設(shè)置的偏低，而浮標(biāo)式流量器13和23又是通過浮標(biāo)來指明刻度，實(shí)際操作中，人員通常由于該刻度不在其視線的水平位置，從而導(dǎo)致刻度讀取很容易出現(xiàn)誤差。這種誤差會(huì)導(dǎo)致化學(xué)品和去離子水的比例出現(xiàn)誤差，如果化學(xué)品的比例過低，晶片表面清洗的不夠干凈，降低晶片良率；如果化學(xué)品的比例過高，顯然造成了浪費(fèi)并相應(yīng)地提高了生產(chǎn)成本。

因此，現(xiàn)需要一種改進(jìn)的原料供給裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種改進(jìn)的原料供給裝置，其可以準(zhǔn)確獲知原料供給量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種原料供給裝置，用于給清洗裝置提供原料，其中，該裝置包括一條提供化學(xué)品的管路和提供去離子水的管路，這兩條管路共同連接到一條管路中以便將混合原料提供給清洗裝置；該裝置中還包括設(shè)置在所述兩條管路上的數(shù)字流量器，用于測(cè)量流經(jīng)對(duì)應(yīng)管路的原料流量。

所述的兩條管路均分別設(shè)有調(diào)節(jié)鈕，用于調(diào)節(jié)對(duì)應(yīng)管路原料流量。

所述數(shù)字流量器連接一個(gè)顯示屏，顯示屏可以設(shè)置在原料供給裝置外部，用于顯示數(shù)字流量器測(cè)量的原料流量。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型設(shè)置了數(shù)字計(jì)量器，其可以精確測(cè)量原料流量且將該原料流量轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，顯示在與其連接的顯示屏上。操作員則可以精確獲知化學(xué)品和去離子水的流量，可以根據(jù)制程的實(shí)際要求，精確調(diào)控流量，不僅使供給清洗裝置的原料能徹底清洗晶片表面，而且還能最大程度減少原料的用量，有效節(jié)約生產(chǎn)成本。

附圖說明

通過以下對(duì)本實(shí)用新型的一實(shí)施例結(jié)合其附圖的描述，可以進(jìn)一步理解其實(shí)用新型的目的、具體結(jié)構(gòu)特征和優(yōu)點(diǎn)。其中，附圖為：

圖1是現(xiàn)有技術(shù)原料供給裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型原料供給裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

請(qǐng)參閱圖2，本實(shí)用新型提供的一種原料供給裝置1包括兩個(gè)調(diào)節(jié)鈕11和21，浮標(biāo)式流量器13和23，數(shù)字流量器15和25以及顯示屏17和27。調(diào)節(jié)鈕11，浮標(biāo)式流量器13及數(shù)字流量器15串聯(lián)構(gòu)成一條用于提供化學(xué)品的管路。調(diào)節(jié)鈕21，浮標(biāo)式流量器23及數(shù)字流量器25串聯(lián)構(gòu)成一條用于提供去離子水的管路。這兩條管路共同連接到一條管路中，該管路將混合原料提供給清洗裝置3。

調(diào)節(jié)鈕11和21用于調(diào)節(jié)對(duì)應(yīng)管路的原料的流量大小，數(shù)字流量器15和25用于測(cè)量對(duì)應(yīng)管路的原料流量，并將該管路的原料流量轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，通過顯示屏17和27顯示。顯示屏17和27可以外接到原料供給裝置1的外部。

在本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中，數(shù)字流量器15和25是采用容積式流量器，它是以螺旋的轉(zhuǎn)速，將轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)數(shù)的累計(jì)轉(zhuǎn)化為原料流量的計(jì)量。在其他實(shí)施例中，也可以采用其他數(shù)字流量器。

在本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中，為了最大程度簡(jiǎn)化改進(jìn)工藝，是直接增設(shè)了兩個(gè)數(shù)字流量器15和25，在本實(shí)用新型其他實(shí)施例中，也可以將浮標(biāo)式流量器13和23直接拆除，而直接改用數(shù)字流量器15和25。此外，調(diào)節(jié)鈕11和21可以集成到浮標(biāo)式流量器11和13上，或者可以集成到數(shù)字流量器15和25。

本實(shí)用新型采用的數(shù)字計(jì)量器15和25可以精確測(cè)量原料流量且將測(cè)量結(jié)果轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，并顯示在與其連接的顯示屏上。操作員則可以精確獲知化學(xué)品和去離子水的流量，可以根據(jù)制程的實(shí)際要求，精確調(diào)控流量，不僅使供給清洗裝置的原料能徹底清洗晶片表面，而且還能最大程度減少原料的用量，有效節(jié)約生產(chǎn)成本。