[實用新型]一種原料供給裝置有效
| 申請號： | 200720070765.8 | 申請日： | 2007-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN201049440Y | 公開（公告）日： | 2008-04-23 |
| 發明（設計）人： | 陳肖科 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B55/00 | 分類號： | B24B55/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 原料 供給 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種原料供給裝置，用于給清洗裝置提供原料，其特征在于：該裝置包括一條提供化學品的管路和提供去離子水的管路，這兩條管路共同連接到一條管路中以便將混合原料提供給清洗裝置；該裝置中還包括設置在所述兩條管路上的數字流量器，用于測量流經對應管路的原料流量。
2.如權利要求1所述的一種原料供給裝置，其特征在于：所述的兩條管路均分別設有調節鈕，用于調節對應管路的原料流量。
3.如權利要求1所述的一種原料供給裝置，其特征在于：所述數字流量器連接一個顯示屏，顯示屏可以設置在原料供給裝置外部，用于顯示數字流量器測量的原料流量。
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