[實(shí)用新型]一種俄歇電子能譜表面分析觀察截面的夾具

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720069735.5
• 申請(qǐng)日: 2007-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN201060174Y
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇婕;王俊杰;李明;段淑卿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號(hào): G01N23/227
• 分類號(hào): G01N23/227
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及觀察截面用的夾具領(lǐng)域，尤其是一種用于俄歇電子能譜表面分析觀察截面的夾具。

背景技術(shù)

目前用于俄歇(Auger)電子能譜表面分析觀察縱截面的夾具(holder)通常采用螺絲固緊的夾具。圖1是現(xiàn)有的采用螺絲固緊的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，放置樣品1時(shí)，用鑷子將樣品1放置至樣品槽2內(nèi)，然后用螺絲3進(jìn)行固定。

使用所述的裝置進(jìn)行固定時(shí)具有以下問題：

1、樣品1是通過扭緊螺絲3固定的。在緊固螺絲3的過程中，因螺絲3緩慢扭進(jìn)，樣品1容易出現(xiàn)移位而需要重新放置，而且一般需要兩個(gè)人協(xié)作完成。

2、一次只能放置一個(gè)樣品，而且只能是縱截面的樣品。然而俄歇抽真空的時(shí)間較長(zhǎng)，通常需要半個(gè)小時(shí)到1個(gè)小時(shí)，因此如果同時(shí)有多個(gè)樣品需要分析時(shí)，則花費(fèi)在抽真空上的時(shí)間十分可觀。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于俄歇電子能譜表面分析觀察截面的夾具，克服了現(xiàn)有夾具在固緊過程中樣品易發(fā)生移位，且一般需要兩人協(xié)作完成的缺陷，可實(shí)現(xiàn)單人快速輕易的將樣品固定，且所述自動(dòng)復(fù)位裝置的彈簧簡(jiǎn)單易拆，使用、更換方便。同時(shí)，克服了現(xiàn)有夾具一次只能放置一個(gè)樣品，而且只能是縱截面的樣品的缺陷，實(shí)現(xiàn)了同時(shí)放置多個(gè)縱截面的樣品和一個(gè)橫截面的樣品。

為了實(shí)現(xiàn)這一目的，本實(shí)用新型提供一種用于俄歇電子能譜表面分析觀察截面的夾具，包括樣品槽、頂桿和自動(dòng)復(fù)位裝置，所述頂桿的一端與該自動(dòng)復(fù)位裝置相對(duì)固定；頂桿受到所述自動(dòng)復(fù)位裝置朝向樣品槽的力，使其另一端可活動(dòng)地頂住樣品槽。

進(jìn)一步地，所述自動(dòng)復(fù)位裝置包括兩個(gè)彈簧及一連接桿，所述頂桿的一端與該連接桿相對(duì)固定；兩個(gè)彈簧分別位于頂桿的兩側(cè)，彈簧的一端固定在連接桿上，另一端固定在樣品槽上。

進(jìn)一步地，所述自動(dòng)復(fù)位裝置還包括一拉桿，該拉桿固定于連接桿上，長(zhǎng)為3～5mm。

進(jìn)一步地，所述夾具還包括若干樣品槽、與樣品槽數(shù)目相同的頂桿、與樣品槽數(shù)目相同的自動(dòng)復(fù)位裝置；每一個(gè)樣品槽對(duì)應(yīng)一個(gè)頂桿及一個(gè)自動(dòng)復(fù)位裝置；各個(gè)頂桿的一端與對(duì)應(yīng)的自動(dòng)復(fù)位裝置相對(duì)固定；頂桿受到自動(dòng)復(fù)位裝置朝向?qū)?yīng)樣品槽的力，其另一端可活動(dòng)的頂住對(duì)應(yīng)的樣品槽。

進(jìn)一步地，所述夾具還包括若干樣品槽、與樣品槽數(shù)目相同的頂桿，一樣品槽對(duì)應(yīng)一頂桿；各樣品槽圍成類似多邊形的形狀；所述自動(dòng)復(fù)位裝置包括對(duì)應(yīng)頂桿總數(shù)的彈簧，各彈簧與頂桿順次連接，大致形成一多邊形，分布于夾具周圍。

進(jìn)一步地，所述的頂桿為螺栓，且與螺栓配合的是光孔。

進(jìn)一步地，在該夾具的中部頂端裝有螺絲固緊的彈簧夾。

進(jìn)一步地，在樣品槽內(nèi)放置樣品的位置上設(shè)置有銅膠。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于：所述的夾具通過在夾具上安裝自動(dòng)復(fù)位裝置，實(shí)現(xiàn)了單人快速輕易的將樣品固定，且所述自動(dòng)復(fù)位裝置的彈簧簡(jiǎn)單易拆，使用、更換方便。同時(shí)，所述的夾具實(shí)現(xiàn)了同時(shí)放置多個(gè)縱截面的樣品和一個(gè)橫截面的樣品。

附圖說明

圖1是現(xiàn)有的采用螺絲固緊的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-1是實(shí)施例一中自動(dòng)復(fù)位裝置放入樣品前的示意圖；

圖2-2是圖2-1的俯視圖；

圖3-1是實(shí)施例一中自動(dòng)復(fù)位裝置放入樣品過程中的示意圖；

圖3-2是圖3-1的俯視圖；

圖4-1是實(shí)施例一中自動(dòng)復(fù)位裝置放入樣品后的示意圖；

圖4-2是圖4-1的俯視圖；

圖5是實(shí)施例一中自動(dòng)復(fù)位裝置的彈簧連接結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6-1是本實(shí)用新型夾具實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6-2是圖6-1的俯視圖；

圖7-1是本實(shí)用新型夾具實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7-2是圖7-1的俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合本實(shí)用新型的具體實(shí)施例和附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。

實(shí)施例一

本實(shí)用新型的夾具，包括樣品槽4、頂桿5和自動(dòng)復(fù)位裝置，所述頂桿5的一端與該自動(dòng)復(fù)位裝置相對(duì)固定；頂桿5受到所述自動(dòng)復(fù)位裝置朝向樣品槽4的力，使其另一端可活動(dòng)的頂住樣品槽4。

本實(shí)用新型的自動(dòng)復(fù)位裝置是包括兩個(gè)彈簧6、連接桿7和拉桿8，所述頂桿5的一端與該連接桿7相對(duì)固定；兩個(gè)彈簧6分別位于頂桿8的兩側(cè)，彈簧6的一端固定在連接桿7上，另一端固定在樣品槽4上；所述的拉桿8固定于連接桿7上，長(zhǎng)為3～5mm。

首先請(qǐng)參閱圖2-1、圖2-2，此時(shí)彈簧6處于微拉伸狀態(tài)，拉桿8受一向左的力，頂桿5頂著樣品槽4的左側(cè)。