[實用新型]一種俄歇電子能譜表面分析觀察截面的夾具

無效

• 申請號: 200720069735.5
• 申請日: 2007-05-11
• 公開（公告）號: CN201060174Y
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發明（設計）人: 蘇婕;王俊杰;李明;段淑卿
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01N23/227
• 分類號: G01N23/227
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種用于俄歇電子能譜表面分析觀察截面的夾具，包括樣品槽、頂桿，其特征在于：其還包括自動復位裝置，所述頂桿的一端與該自動復位裝置相對固定；頂桿受到所述自動復位裝置朝向樣品槽的力，使其另一端可活動地頂住樣品槽。

2.如權利要求1所述的觀察截面的夾具，其特征在于：所述自動復位裝置包括兩個彈簧及一連接桿，所述頂桿的一端與該連接桿相對固定；兩個彈簧分別位于頂桿的兩側，彈簧的一端固定在連接桿上，另一端固定在樣品槽上。

3.如權利要求2所述的觀察截面的夾具，其特征在于：所述自動復位裝置還包括一拉桿，該拉桿固定于連接桿上。

4.如權利要求3所述的觀察截面的夾具，其特征在于：所述拉桿長為3～5mm。

5.如權利要求1或2或3或4所述的觀察截面的夾具，其特征在于：所述夾具還包括若干樣品槽、與樣品槽數目相同的頂桿、與樣品槽數目相同的自動復位裝置；每一個樣品槽對應一個頂桿及一個自動復位裝置；各個頂桿的一端與對應的自動復位裝置相對固定；頂桿受到自動復位裝置朝向對應樣品槽的力，其另一端可活動的頂住對應的樣品槽。

6.如權利要求1所述的觀察截面的夾具，其特征在于：所述夾具還包括若干樣品槽、與樣品槽數目相同的頂桿，一樣品槽對應一頂桿；各樣品槽圍成類似多邊形的形狀；所述自動復位裝置包括對應頂桿總數的彈簧，各彈簧與頂桿順次連接，大致形成一多邊形，分布于夾具周圍。

7.如權利要求6所述的觀察截面的夾具，其特征在于：所述的頂桿為螺栓，且與螺栓配合的是光孔。

8.如權利要求1或2或3或4或6或7所述的觀察截面的夾具，其特征在于：在該夾具的中部頂端裝有螺絲固緊的彈簧夾。

9.如權利要求1或2或3或4或6或7所述的觀察截面的夾具，其特征在于：在樣品槽內放置樣品的位置上設置有銅膠。