[實用新型]一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡

無效

• 申請號: 200720067981.7
• 申請日: 2007-03-20
• 公開（公告）號: CN201035212Y
• 公開（公告）日: 2008-03-12
• 發明（設計）人: 陳亮;許俊;莊祈龍
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G02B21/06
• 分類號: G02B21/06;G01N21/88
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型涉及光學顯微鏡，特別涉及一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡。

背景技術

在半導體器件制作完成后，需通過晶圓檢查光學顯微鏡對其進行外觀檢查，以檢出具有明顯會影響器件質量的外觀缺陷，所述外觀缺陷包括破損、裂紋、劃痕、附著物或污染等，對所述外觀缺陷的檢查包括宏觀檢查和微觀檢查。

現晶圓檢查光學顯微鏡中用于提供宏觀檢查的宏觀光源模塊只提供白光，通常的晶圓只在白光下就能檢查出其上的外觀缺陷，但像生成有反射型液晶(Liquid?Crystal?on?Silicon，LCOS)芯片等元件的晶圓只有在綠光下才更容易發現外觀缺陷，故只提供白光進行宏觀檢查難以確保晶圓芯片上的外觀缺陷被完全檢查出來。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡，通過所述晶圓檢查光學顯微鏡可大大提高宏觀檢查的精確性。

本實用新型的目的是這樣實現的：一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡，該光學顯微鏡包括用于對晶圓進行宏觀檢查的宏觀檢查單元、用于對晶圓進行微觀檢查的微觀檢查單元、用于載送晶圓至檢查區域的晶圓載送機構以及用于控制宏觀檢查單元、微觀檢查單元、晶圓載送機構對晶圓進行檢查的控制模塊，其中，該宏觀檢查單元具有用于提供宏觀檢查光源的宏觀光源模塊，該宏觀光源模塊包括光源燈以及連接在光源燈上的光源輸出單元，該宏觀光源模塊的光源燈為多色燈，該宏觀光源模塊還包括一連接至光源燈的光源顏色選擇單元，用于供使用者選用光源燈的顏色。

在上述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡中，該光源燈為發光二級管(Light-Emitting?Diode，LED)。

在上述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡中，該光源輸出單元為光纖。

與現有的晶圓檢查光學顯微鏡只提供白光進行宏觀檢查而使有些晶圓上的外觀缺陷很難被檢出相比，本實用新型中提供了多色光進行宏觀檢查，使用者可依據晶圓上不同的芯片選用不同顏色的光，如此可確保晶圓檢查光學顯微鏡進行宏觀檢查的精確性和可靠性。

附圖說明

本實用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本實用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡的方框圖；

圖2為圖1中宏觀光源模塊的方框圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡作進一步的詳細描述。

參見圖1，本實用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡1包括宏觀檢查單元10、微觀檢查單元11、晶圓載送機構12和控制模塊13。

宏觀檢查單元10用于進行晶圓的宏觀檢查，其包括宏觀光源模塊100和宏觀檢查臺101。宏觀光源模塊100用于提供宏觀檢查的光源。宏觀檢查臺101用于置放晶圓進行宏觀檢查，其在宏觀光源模塊100所提供的光照射下進行旋轉，以供多角度的對晶圓進行宏觀檢查。

微觀檢查單元11用于進行晶圓的微觀檢查。

晶圓載送機構12用于載送晶圓至檢查區域，當進行宏觀檢查時，晶圓載送機構12將晶圓載送至宏觀檢查臺101上，當進行微觀檢查時，晶圓載送機構12將晶圓載送至微觀檢查單元11。

控制模塊13用于控制宏觀檢查單元10、微觀檢查單元11、晶圓載送機構12對晶圓進行宏觀檢查和微觀檢查。

參見圖2，上述宏觀光源模塊100包括光源燈100a、光源輸出單元100b和光源顏色選擇單元100c，其中，所述光源燈100a為多色燈，所述光源輸出單元100b連接在光源燈100a上，所述光源顏色選擇單元100c連接至光源燈100a上，用于供使用者選用光源燈100a的顏色。較佳的所述光源燈100a可實施為多色發光二級管，所述光源輸出單元100b可實施為光纖。

以下將詳述通過本實用新型的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡1對晶圓進行檢查的過程：首先，通過晶圓載送機構12將晶圓載送至宏觀檢查臺101上；然后，通過光源顏色選擇單元100c選擇所檢芯片應使用的光源100a；接著，宏觀檢查臺101旋轉以供使用者在光源100a所提供的光下對所檢晶圓進行多方位的宏觀檢查；之后通過晶圓載送機構12將晶圓載送至微觀檢查單元11進行微觀檢查。

綜上所述，本實用新型提供了多色光進行宏觀檢查，使用者可依據不同的芯片選用不同顏色的光，如此可確保晶圓檢查光學顯微鏡進行宏觀檢查的精確性和可靠性。