[實用新型]一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡無效
| 申請號： | 200720067981.7 | 申請日： | 2007-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN201035212Y | 公開（公告）日： | 2008-03-12 |
| 發明（設計）人： | 陳亮;許俊;莊祈龍 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G02B21/06 | 分類號： | G02B21/06;G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 2012*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提供 多色 宏觀 檢查 光源 光學 顯微鏡 | ||
【權利要求書】：
1.一種可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡，該光學顯微鏡包括用于對晶圓進行宏觀檢查的宏觀檢查單元、用于對晶圓進行微觀檢查的微觀檢查單元、用于載送晶圓至檢查區域的晶圓載送機構以及用于控制宏觀檢查單元、微觀檢查單元、晶圓載送機構對晶圓進行檢查的控制模塊，其中，該宏觀檢查單元具有用于提供宏觀檢查光源的宏觀光源模塊，該宏觀光源模塊包括光源燈以及連接在光源燈上的光源輸出單元，其特征在于，該宏觀光源模塊的光源燈為多色燈，該宏觀光源模塊還包括一連接至光源燈的光源顏色選擇單元，用于供使用者選用光源燈的顏色。
2.如權利要求1所述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡，其特征在于，該光源燈為發光二級管。
3.如權利要求1所述的可提供多色宏觀檢查光源的晶圓檢查光學顯微鏡，其特征在于，該光源輸出單元為光纖。
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