[實(shí)用新型]用于金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積設(shè)備真空系統(tǒng)的快卸冷阱

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720063948.7
• 申請(qǐng)日: 2007-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN201065431Y
• 公開（公告）日: 2008-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李學(xué)文;胡曉宇;王慧勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號(hào): C23C16/00
• 分類號(hào): C23C16/00;C23C16/18;H01L21/365;C30B25/02
• 代理公司: 長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司
• 代理人: 馬強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)設(shè)備真空系統(tǒng)，進(jìn)一步是指所述真空系統(tǒng)所采用的快卸冷阱裝置。

背景技術(shù)

金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(MOCVD)設(shè)備是目前唯一能用于半導(dǎo)體薄膜材料大批量生產(chǎn)的外延設(shè)備。MOCVD是非平衡態(tài)生長技術(shù)，依賴于前體的蒸氣輸運(yùn)和加熱區(qū)中III族和V族化合物的后續(xù)反應(yīng)，源材料在離開反應(yīng)器生長區(qū)后將產(chǎn)生很多副產(chǎn)物，這些副產(chǎn)物在真空管道內(nèi)冷卻后將成為粉塵、顆粒，有的將吸附在真空管道、閥門內(nèi)表面，堵塞真空管道、閥門，特別是嚴(yán)重影響閥門的密封性能，有的被吸入真空泵內(nèi)，影響泵的使用性能和使用壽命。因此，出現(xiàn)了在真空管道上靠近反應(yīng)器端設(shè)置冷阱的技術(shù)措施，用以阻擋這些粉塵進(jìn)入真空系統(tǒng)。

但是，MOCVD工藝產(chǎn)生的粉塵使得冷阱清洗變得頻繁。常規(guī)冷阱在進(jìn)行清洗時(shí)必須將冷阱拆開，使得真空管路頻繁暴露在大氣中。MOCVD工藝對(duì)大氣中的氧氣及其它微量氣體非常敏感，要求真空管道盡量不暴露在大氣中。再則，工藝中大都涉及有毒有害氣體，冷阱內(nèi)吸附有這些未反應(yīng)完的有毒氣體或其中間產(chǎn)物，在對(duì)常規(guī)冷阱進(jìn)行拆卸清洗過程中將非常危險(xiǎn)，容易造成人員或設(shè)備損傷。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提出一種用于金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積設(shè)備真空系統(tǒng)的快卸冷阱，它在拆下冷阱內(nèi)芯(3)過程中，可保持冷阱始終不與大氣接觸，從而避免真空管路暴露在大氣中。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，所述用于金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積設(shè)備真空系統(tǒng)的快卸冷阱有圓筒形冷阱外筒，該冷阱外筒為一夾套結(jié)構(gòu)，夾套中是接有進(jìn)水口和出水口的水冷腔，所述冷阱外筒一側(cè)設(shè)有與該冷阱外筒內(nèi)腔連通的排氣口，底部設(shè)有進(jìn)氣口而側(cè)壁開有若干通氣孔的圓筒形冷阱內(nèi)芯裝在所述冷阱外筒中；所述冷阱內(nèi)芯的上端封閉而下端與所述冷阱外筒之間裝有密封圈，該冷阱內(nèi)芯的外側(cè)纏繞有不銹鋼絲網(wǎng)；所述冷阱外筒的上端口設(shè)有密封頂蓋且該密封頂蓋置于封閉的手套箱中。

以下對(duì)本實(shí)用新型做出進(jìn)一步說明。

如圖1所示，所述用于金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積設(shè)備真空系統(tǒng)的快卸冷阱有圓筒形冷阱外筒1，該冷阱外筒1為一夾套結(jié)構(gòu)，夾套中是接有進(jìn)水口5和出水口8的水冷腔4，所述冷阱外筒1一側(cè)設(shè)有與該冷阱外筒內(nèi)腔連通的排氣口7，底部設(shè)有進(jìn)氣口6而側(cè)壁開有若干通氣孔17的圓筒形冷阱內(nèi)芯2裝在所述冷阱外筒1中；所述冷阱內(nèi)芯2的上端封閉而下端與所述冷阱外筒之間裝有密封圈16，該冷阱內(nèi)芯2的外側(cè)纏繞有不銹鋼絲網(wǎng)3；所述冷阱外筒1的上端口設(shè)有密封頂蓋11且該密封頂蓋置于封閉的手套箱14中。

參見圖1，所述密封頂蓋11與冷阱外筒1頂部之間設(shè)有雙密封圈160、161且該雙密封圈之間的空腔接有抽氣口15。并且，所述冷阱外筒1與封閉的手套箱14的連接部位設(shè)有密封圈162。

參見圖1，可將所述密封頂蓋11懸掛在球頭桿10下端的球頭上，該球頭桿10裝在球頭壓緊桿12上，而所述球頭壓緊桿12的一端同冷阱外筒1頂部的鉸鏈座13相鉸接而另一端用螺桿9同冷阱外筒1頂部連接，由此組成一種自動(dòng)找正密封頂蓋。