[實用新型]用于金屬有機物化學氣相淀積設備真空系統的快卸冷阱

無效

• 申請號: 200720063948.7
• 申請日: 2007-07-27
• 公開（公告）號: CN201065431Y
• 公開（公告）日: 2008-05-28
• 發明（設計）人: 李學文;胡曉宇;王慧勇
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C16/00
• 分類號: C23C16/00;C23C16/18;H01L21/365;C30B25/02
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司
• 代理人: 馬強

1.一種用于金屬有機物化學氣相淀積設備真空系統的快卸冷阱，其特征是，它有圓筒形冷阱外筒(1)，該冷阱外筒(1)為一夾套結構，夾套中是接有進水口(5)和出水口(8)的水冷腔(4)，所述冷阱外筒(1)一側設有與該冷阱外筒內腔連通的排氣口(7)，底部設有進氣口(6)而側壁開有若干通氣孔(17)的圓筒形冷阱內芯(2)裝在所述冷阱外筒(1)中；所述冷阱內芯(2)的上端封閉而下端與所述冷阱外筒之間裝有密封圈(16)，該冷阱內芯(2)的外側纏繞有不銹鋼絲網(3)；所述冷阱外筒(1)的上端口設有密封頂蓋(11)且該密封頂蓋置于封閉的手套箱(14)中。

2.根據權利要求1所述用于金屬有機物化學氣相淀積設備真空系統的快卸冷阱，其特征是，所述密封頂蓋(11)與冷阱外筒(1)頂部之間設有雙密封圈(160、161)且該雙密封圈之間的空腔接有抽氣口(15)。

3.根據權利要求1所述用于金屬有機物化學氣相淀積設備真空系統的快卸冷阱，其特征是，所述冷阱外筒(1)與封閉的手套箱(14)的連接部位設有密封圈(162)。

4.根據權利要求1所述用于金屬有機物化學氣相淀積設備真空系統的快卸冷阱，其特征是，將所述密封頂蓋(11)懸掛在球頭桿(10)下端的球頭上，該球頭桿(10)裝在球頭壓緊桿(12)上，而所述球頭壓緊桿(12)的一端同冷阱外筒(1)頂部的鉸鏈座(13)相鉸接而另一端用螺桿(9)同冷阱外筒(1)頂部連接。