[實(shí)用新型]一種高靈敏壓力傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720037740.8
• 申請(qǐng)日: 2007-05-16
• 公開（公告）號(hào): CN201075043Y
• 公開（公告）日: 2008-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何宇亮;王樹娟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 何宇亮;王樹娟
• 主分類號(hào): G01L1/18
• 分類號(hào): G01L1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及一種小型固態(tài)壓力傳感器的改進(jìn)。

背景技術(shù)：

已有的固態(tài)傳感器，無論是單晶硅、多晶硅，還是非晶硅壓力傳感器壓力靈敏度和恒定性較差，使用溫度范圍窄，最佳工作溫度通常僅在80-100℃。

發(fā)明內(nèi)容：

本實(shí)用新型的發(fā)明目的是克服上述已有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供一種靈敏度高，最佳工作溫度范圍寬，使用壽命長的高靈敏壓力傳感器。

本實(shí)用新型由殼體(1)、殼體(1)內(nèi)的硅杯(3)、殼體(1)下部的進(jìn)氣口(2)和硅杯(3)連接的引線(4)組成，硅杯(3)上部覆蓋有硅膜片(5)，硅杯(3)下部的高壓腔(6)與進(jìn)氣口(2)相連通，硅杯(3)上方為低壓腔(7)，硅膜片(5)上設(shè)有氧化層(8)，氧化層(8)上設(shè)有納米力敏電阻(9)。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是靈敏性和穩(wěn)定性高，溫度范圍寬，可廣泛使用于汽車、探礦及軍事工程。

附圖說明：

附圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1——?dú)んw，2——進(jìn)氣口，3——硅杯，4——引線，5——硅膜片，6——高壓腔，7——低壓腔，8——氧化層，9——納米硅力敏電阻。

具體實(shí)施方式：

參照附圖1，硅杯(3)為環(huán)形，位于殼體(1)內(nèi)腔，左右兩側(cè)連接引線(4)，硅杯(3)上口覆蓋有呈正方形的硅膜片(5)，氧化層(8)位于硅膜片(5)上，納米硅力敏電阻(9)分布在硅膜片(5)上部氧化層(8)的四周邊緣，共設(shè)2對(duì)，一對(duì)縱向設(shè)置，另一對(duì)呈切面設(shè)置，從而構(gòu)成惠靈頓應(yīng)變電橋。硅杯(3)上方為低壓腔(7)，下部經(jīng)進(jìn)氣口(2)與高壓腔(6)連通。