[實用新型]一種高靈敏壓力傳感器

無效

• 申請號: 200720037740.8
• 申請日: 2007-05-16
• 公開（公告）號: CN201075043Y
• 公開（公告）日: 2008-06-18
• 發明（設計）人: 何宇亮;王樹娟
• 申請（專利權）人: 何宇亮;王樹娟
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種高靈敏壓力傳感器，包含有殼體(1)、殼體(1)內的硅杯(3)、殼體(1)下部的進氣口(2)和與硅杯(3)連接的引線(4)，其特征在于硅杯(3)上部覆蓋有硅膜片(5)，硅杯(3)下部的高壓腔(6)與進氣口(2)連通，硅杯(3)的上方為低壓腔(7)，硅膜片(5)的上部設有氧化層(8)，氧化層(8)上設有納米硅力敏電阻(9)。

2.按權利要求1所述的一種高靈敏壓力傳感器，其特征在于所說的硅膜片(5)為正方形，納米硅力敏電阻(9)分布在硅膜片(5)上部、氧化層(8)的四邊緣，共設2對，一對呈縱向設置，另一對呈切面設置。