[實用新型]真空感應鍍錫裝置

無效

• 申請號: 200720031519.1
• 申請日: 2007-04-10
• 公開（公告）號: CN201037150Y
• 公開（公告）日: 2008-03-19
• 發明（設計）人: 王健;王越喜
• 申請（專利權）人: 西安中意高頻設備廠
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/14;C23C14/54
• 代理公司: 西安創知專利事務所
• 代理人: 譚文琰

技術領域

本實用新型涉及一種鍍錫裝置，特別是一種真空感應鍍錫裝置。

背景技術

真空蒸鍍金屬薄膜是在高真空(10^-4mba以上)條件下，以電阻、高頻或電子束加熱使金屬熔融氣化，在薄膜基材的表面附著而形成復合薄膜的一種工藝。被鍍金屬材料可以是金、銀、銅、鋅、鉻、鋁等，其中用的最多的是鋁。

傳統的真空蒸鍍機由真空系統，蒸發系統，薄膜卷繞系統，冷卻系統和控制系統構成，圖1為傳統真空蒸鍍機的結構示意圖，如圖1所示，真空系統為真空室1；蒸發系統為蒸發舟11；薄膜卷繞系統為卷繞輥筒3，放卷輥5，還有調整張力的張緊輪7；冷卻系統為水冷輥筒6。將卷筒狀的待鍍薄膜基材裝在真空蒸鍍機的放卷輥5上，將薄膜穿過水冷卻輥6(蒸鍍輥)卷繞在收卷站的卷繞輥筒3上，用真空泵將真空室1抽真空，使蒸鍍室中的真空度達到4×10^-4mba以上，加熱蒸發舟11使高純度的鋁絲在1300℃～1400℃的溫度下融化并蒸發成氣態鋁。啟動薄膜卷繞系統，當薄膜運行速度達到一定數值后，打開擋板機構10使氣態鋁微粒在移動的薄膜基材表面沉積、冷卻即形成一層連續而光亮的金屬鋁層。通過控制金屬鋁的蒸發速度、基材薄膜的移動速度以及蒸鍍室內的真空度等來控制鍍鋁層的厚度。真空室1上有觀察孔2，還有下室排氣口12，蒸發舟11的上方還設有隔板。

控制系統用于調節好放卷速度、收卷速度、送絲速度和蒸發量，開通冷卻源，使鋁絲在蒸發舟上連續地熔化、蒸發，從而在移動的薄膜表面冷卻后形成一層光亮的鋁層即為鍍鋁薄膜。鍍鋁薄膜生產工藝流程：基材放卷→抽真空→加熱蒸發舟→送鋁絲→蒸鍍→冷卻→測厚→展平→收卷。

現在市場上用于塑料薄膜的真空鍍鋁設備主要有纏繞式和懸浮式兩種類型，但無論是纏繞式還是懸浮式，一般都是由真空系統、蒸發系統、薄膜卷繞系統、冷卻系統、控制系統等主要部分組成。

傳統的塑料薄膜上鍍錫多采用磁控濺射方式蒸發，但存在著蒸發量小，產量很低的缺陷，每分鐘只能鍍3米，成本較高，無法大規模生產。還有采用電子加熱式或電阻加熱式在塑料薄膜上鍍錫，這些都是產量很小，良品率很低，不具備大規模連續生產的條件。電子加熱式和磁控濺射式都屬于低蒸發量蒸發手段，速度很慢，效率低。電阻式的加熱，由于錫的物理特征，熔點只有230℃，蒸發點為1250℃，所以加熱體很難選擇，致使在塑料基材上鍍錫比較困難，長期以來都無法用鍍鋁的裝置來進行鍍錫操作，由于成品率低，生產速度慢，致使鍍錫薄膜由于成本較高，造成薄膜的針孔數量較多，難以滿足市場的要求。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于針對現有技術中鍍錫設備產量低，速度慢的不足，提供一種真空感應鍍錫裝置，該裝置通過改變傳統蒸發舟的結構，使得鍍錫成品率提高，提高了鍍錫膜的質量，解決了傳統鍍錫膜過程中，速度慢的缺陷，可以實現大規模生產。

為此，本實用新型提供了一種真空感應鍍錫裝置，包括真空蒸鍍機，所述真空蒸鍍機由真空系統，蒸發系統，薄膜卷繞系統，冷卻系統和控制系統構成，其中，所述蒸發系統為蒸發舟，所述蒸發舟包括用于放置、熔化并蒸發錫金屬的石墨坩堝，所述石墨坩堝外設置保溫層，所述保溫層外環繞設置有用于通過電感應磁場加熱的線圈感應器，所述線圈感應器連接高頻電源。

本實用新型通過改變蒸發舟的結構，解決了使用傳統真空蒸鍍機鍍錫時，鍍錫薄膜上針孔多，成品率低的缺陷，而且由于錫的熔點較低，無法像鍍鋁膜時將鋁絲慢慢送至蒸發舟上方，因為早就熔化掉了，所以針對這一特點，本實用新型采用可以加熱至1200℃的石墨坩堝，石墨坩堝外周用感應線圈環繞，又采用高頻電源供電，以保證放置在石墨坩堝內的錫金屬能夠快速熔化并蒸發，使用本實用新型鍍錫，能使鍍錫薄膜的產量提高，生產效率提高，并保證較高的成品率，解決了一直以來鍍錫薄膜不能大量生產的缺陷，使得鍍錫薄膜的應用市場成為可能。

下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

附圖說明

圖1為傳統真空蒸鍍機的結構示意圖；

圖2為本實用新型蒸發舟的結構示意圖。

附圖標記說明：

1—真空室；????????2—觀察孔；????3—卷繞輥筒；

4—上室排氣口；????5—放卷輥；????6—水冷輥筒；

7—張緊輪；????????8—隔板縫；????9—隔板；

10—擋板機構；?????11一蒸發舟；???12—下室排氣口；

21—石墨坩堝；?????22—保溫層；???23—線圈感應器；