[實用新型]真空感應鍍錫裝置無效

申請號：	200720031519.1	申請日：	2007-04-10
公開（公告）號：	CN201037150Y	公開（公告）日：	2008-03-19
發明（設計）人：	王健;王越喜	申請（專利權）人：	西安中意高頻設備廠
主分類號：	C23C14/26	分類號：	C23C14/26;C23C14/14;C23C14/54
代理公司：	西安創知專利事務所	代理人：	譚文琰
地址：	710043陜***	國省代碼：	陜西;61
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摘要：
搜索關鍵詞：	真空感應鍍錫裝置
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【權利要求書】：

1.一種真空感應鍍錫裝置，包括真空蒸鍍機，所述真空蒸鍍機由真空系統，蒸發系統，薄膜卷繞系統，冷卻系統和控制系統構成，其特征在于，所述蒸發系統為蒸發舟，所述蒸發舟包括用于放置、熔化并蒸發錫金屬的石墨坩堝，所述石墨坩堝外設置保溫層，所述保溫層外環繞設置有用于通過電感應磁場加熱的線圈感應器，所述線圈感應器連接高頻電源。

2.根據權利要求1所述的真空感應鍍錫裝置，其特征在于，所述高頻電源的頻率范圍為6KHz至20KHz，功率為10KW至30KW。

3.根據權利要求1所述的真空感應鍍錫裝置，其特征在于，所述石墨坩堝加熱后溫度為1200℃至1500℃。

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