[實用新型]取送、對中功能一體化機器人裝置

無效

• 申請號: 200720011938.9
• 申請日: 2007-04-30
• 公開（公告）號: CN201120610Y
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: 苗濤
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: B25J3/00
• 分類號: B25J3/00;B25J15/06;B25J19/00;B65G49/05
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司
• 代理人: 張志偉

技術領域

本實用新型涉及軌道式勻膠/顯影機中晶片的移送機構，具體為一種取送、對中功能一體化機器人裝置。

背景技術

目前的機器人手指取過晶片后要放到單獨的對中單元上完成對中功能。如圖1所示，原機器人設有機器人固定平臺3和安裝于機器人固定平臺3上的手指1，原機器人只能起到取送晶片的作用，其工作過程是手指先從片盒取到晶片，送到對中單元，經過對中單元執行對中動作后，再送往其他單元。其不足之處在于：機器人功能較為單一，操作工序較多。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種取送、對中功能一體化機器人裝置，解決機器人功能較為單一、操作工序較多等問題。

本實用新型的技術方案是：

一種取送、對中功能一體化機器人裝置，機器人上設置對中機構。

所述對中機構可以包括移動對中部分和氣缸，通過氣缸驅動的移動對中部分對稱設置于氣缸的兩側，兩個移動對中部分的相對側面為與晶片形狀匹配的半圓形結構。

所述兩個移動對中部分相對的側面安裝有柱體。

所述氣缸兩側安裝有減振擋塊。

本實用新型的優點及有益效果是：

1、本實用新型對原工作過程進行了更改，在機器人上增加了對中機構，將對中功能在機器人上實現，原對中單元的承片臺可取消，減少了環節和機械部件，節約了時間。

2、本實用新型可同時適用于I型和Y型手指。

附圖說明

圖1現有技術中機器人裝置示意圖。

圖2本實用新型機器人裝置示意圖。

圖中，1手指；2晶片；3機器人固定平臺；4對中機構；41移動對中部分；42氣缸；43柱體；44氣缸滑柱；45減振擋塊。

具體實施方式

如圖2所示，在機器人固定平臺3上增加了對中機構4，從而將對中功能在機器人上實現。本實施例中，對中機構4包括移動對中部分41和氣缸42，移動對中部分41對稱設置于氣缸42的兩側，通過氣缸滑柱44驅動；兩個移動對中部分41的相對側面為與晶片形狀匹配的半圓形結構，該移動對中部分41的側面安裝有柱體43，用于通過與晶片2接觸來調整晶片對中位置，柱體43為聚丙烯(PP)材料，氣缸42兩側安裝有減振擋塊45。

本實用新型的工作原理為：

先從晶片盒中利用真空吸附取出晶片2，然后將取晶片的手指1移至機器人固定平臺3上面的對中機構4的氣缸42位置上方；關閉真空，氣缸滑柱44動作，對中機構4在氣缸滑柱44帶動下動作，向晶片位置移動，通過調整氣缸42兩側的減振擋塊45，來控制移動對中部分41的移動距離；當兩個移動對中部分41側面的柱體43與晶片2接觸時，可調整晶片2位置，實現晶片的對中功能。對中動作完成后，再打開真空，晶片2吸附于手指1上，手指1升起后，可將晶片移至其他單元。