[實用新型]一種光阻供應管路裝置

無效

• 申請號: 200720000313.2
• 申請日: 2007-01-08
• 公開（公告）號: CN201017172Y
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發明（設計）人: 胡清強;陳曉琪;魯旭光
• 申請（專利權）人: 和艦科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司
• 代理人: 包紅健

技術領域

本實用新型涉及光阻供應設備的技術領域，特別涉及一種光阻供應管路裝置。

背景技術

在晶片生產過程中，光阻是很重要的原料之一。一般來說，光阻的價格都是比較昂貴的，因此在生產中應當避免光阻的浪費。在當前光阻管路設計情況下，每次換光阻過濾器(filter)時，光阻在充滿過濾器的過程中，過濾器里面的空氣就會混合在光阻中，所以就要進行排氣泡，在這個過程中往往要消耗掉大量的光阻和工程師的時間，給半導體廠造成很多不必要的成本損失。目前公知的光阻供應管路裝置請參見圖1，其包括順序連接的光阻瓶(resist?bottle)101，泵102，過濾器103和噴嘴104，光阻瓶101中通有氮氣(N₂)，以形成正壓，泵102從光阻瓶101中抽吸光阻，送入過濾器103過濾，然后將光阻送到噴嘴104，此時如果光阻中有氣泡的話，氣泡就會直接經由噴嘴104噴到晶片上，而如果過濾器103中有氣泡，則光阻經過濾波器103時便會攜帶這些氣泡，再經過后面的管路直接到達噴嘴104，這些氣泡對于注入情況和涂布情況有很不利的影響。

因此，目前急需一種可排氣泡的光阻供應管路裝置，特別是一種不需在過濾器更換過程中進行排氣泡處理的光阻供應管路裝置，以增加產品的優良率與減少制造成本。

發明內容

本實用新型的目的在于提出一種改進的光阻供應管路裝置，其通過增加少量的設備和很低的成本解決了光阻供應管路中的氣泡問題。

為達上述目的，本實用新型提供了一種光阻供應管路裝置，包括依次順序連接的光阻瓶，過濾器和噴嘴，其中，在過濾器與噴嘴之間的管路中安裝一緩沖罐(buffer?tank)，其位置高于噴嘴的位置，緩沖罐上方裝有排氣裝置，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會自動浮出光阻，停留在緩沖罐中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，不含氣泡的光阻會經管路流到噴嘴。

緩沖罐安裝或放置于其外部的移動裝置，緩沖罐隨移動裝置移動，通過改變緩沖罐與噴嘴的高度差改變光阻噴出的速度。

緩沖罐內安裝有液位傳感器，如果光阻超出預定容量的可變化范圍，則光阻液面的高度會過高或過低，液位傳感器會發信號給機臺，機臺便會告警。

本實用新型的一個優點在于在過濾器后加入緩沖罐，可以去除光阻中的氣泡，保證光阻的注入情況和涂布情況。其另一優點在于可通過改變緩沖罐的位置而改變光阻注入的分配率。同時，本實用新型裝置簡單，易于實現，特別是不需在過濾器更換過程中進行排氣泡處理，節省了因排氣泡的過程而消耗的光阻和工作人員的時間，增加了產品的優良率與減少制造成本。

為讓本實用新型之上述和其他目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合附圖，作詳細說明如下。

附圖說明

圖1為公知的光阻供應管路裝置的示意圖。

圖2為本實用新型的光阻供應管路裝置的原理圖。

圖3為本實用新型一較佳實施例的光阻供應管路裝置的示意圖。

具體實施方式

由于本實用新型的技術特征著重于對光阻供應管路裝置中過濾器與噴嘴之間的管路的改進，因此以下所說明的僅以光阻供應管路裝置中的過濾器、緩沖罐、噴嘴及其周邊相關的器件為主，其余與緩沖罐無關的器件茲不贅述。

本實用新型的光阻供應管路裝置的原理如圖2所示，在過濾器103和噴嘴104之間加裝一個緩沖罐20，光阻從過濾器103中出來之后先經過緩沖罐20，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會自動浮出光阻，停留在緩沖罐20中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，由于緩沖罐20與噴嘴104之間有一個高度差H，最終不含氣泡的光阻會經管路流到噴嘴104。此時流入噴嘴104的光阻中沒有氣泡或氣泡低至可忽略的數量，對注入情況和涂布情況都不會產生影響。