[實用新型]一種光阻供應管路裝置

無效

• 申請號: 200720000313.2
• 申請日: 2007-01-08
• 公開（公告）號: CN201017172Y
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發明（設計）人: 胡清強;陳曉琪;魯旭光
• 申請（專利權）人: 和艦科技(蘇州)有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;H01L21/00;H01L21/027
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司
• 代理人: 包紅健

1.一種光阻供應管路裝置，包括依次順序連接的光阻瓶，過濾器和噴嘴，其特征在于，在過濾器與噴嘴之間的管路中安裝緩沖罐，其位置高于噴嘴的位置，緩沖罐上方裝有排氣裝置，過濾器中的光阻經管路流入緩沖罐，如果管路中含有氣泡，由于重力作用氣泡會自動浮出光阻，停留在緩沖罐中光阻液面的上方，并最終通過排氣裝置排出，不含氣泡的光阻會經管路流到噴嘴。

2.根據權利要求1所述的光阻供應管路裝置，其特征在于，將上述緩沖罐安裝或放置于其外部的移動裝置，緩沖罐隨移動裝置移動，通過改變緩沖罐與噴嘴的高度差改變光阻噴出的速度。

3.根據權利要求1或2所述的光阻供應管路裝置，其特征在于，上述緩沖罐內安裝有液位傳感器，如果光阻超出預定容量的可變化范圍，則光阻液面的高度會過高或過低，液位傳感器會發信號給機臺，機臺便會告警。